1.一種單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置,其特征在于,包括:
單光子源器件樣片,具有多個單光子源單元,所述單光子源單元能夠發射單光子;
光纖陣列(2),包括多根光纖(4),耦合至所述單光子源器件樣片的上表面,其中光纖陣列(2)中的一根或多根光纖(4)與所述單光子源單元耦合。
2.根據權利要求1所述的單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置,其特征在于,所述單光子源器件樣片具有多個微柱結構(1),光纖陣列(2)中的一根或多根光纖與作為單光子源單元的微柱結構(1)耦合。
3.根據權利要求2所述的單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置,其特征在于,所述光纖陣列(2)中光纖的直徑略小于所述微柱結構(1)間距。
4.根據權利要求2所述的單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置,其特征在于,所述光纖陣列(2)中光纖的直徑為9μm,所述微柱結構(1)間距為10μm。
5.一種用于制作權利要求1至4中任一所述的單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置的耦合系統,其特征在于,包括:
制冷平臺(5),用于固定及冷卻單光子源器件樣片;
六維位移平臺(6),通過夾具(10)固定光纖陣列(2),用于移動光纖陣列(2);
激光器(7),用于產生激發光,激發單光子源器件樣片中的單光子源單元;
光譜儀探測器(8),用于探測所述單光子源單元產生的單光子信號;
波分復用器(9),連接所述激光器(7)、光譜儀探測器(8)和光纖陣列(2),將所述激光器(7)的激發光傳輸至光纖陣列(2),將所述光纖陣列(2)接收的單光子信號傳輸給光譜儀(8)。
6.根據權利要求5所述的耦合系統,其特征在于,所述光纖陣列(2)中僅一根光纖(4)用于傳輸激發光和單光子信號。
7.一種制作權利要求1至4中任一所述的單光子源器件光纖陣列耦合輸出裝置的方法,其特征在于,包括:
步驟B:將單光子源器件樣片固定于制冷平臺(5)上,光纖陣列(2)的光纖陣列端面(3)與樣片平行設置且位于樣片上方;
步驟C:將光纖陣列(2)的光纖陣列端面(3)抵近并對準單光子源器件樣片表面;
步驟D:在水平面上移動光纖陣列(2),對單光子源器件樣片表面實施掃描,通過探測單光子信號確定單光子源單元位置;
步驟E:耦合光纖陣列(2)于單光子源器件樣片的上述單光子源單元位置。
8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,所述單光子源器件樣片具有多個微柱結構(1),所述步驟B之前還包括:步驟A:在單光子源器件樣片上刻蝕出多個微柱結構(1)。
9.根據權利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述步驟E包括:
步驟E1:將光纖陣列(2)在豎直方向上升高;
步驟E2:在所述單光子源單元位置涂覆紫外膠;
步驟E3:將光線陣列(2)在豎直方向上下降抵,光纖陣列端面(3)抵接單光子源器件樣片,采用紫外光照射固化。
10.根據權利要求7或8所述的方法,其特征在于:所述光纖陣列端面(3)經磨平處理,用于提高單光子信號的收集效率。