有機發光二極管顯示裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種有機發光二極管顯示裝置。
【背景技術】
[0002]有機發光二極管包括兩個電極和位于它們之間的有機發射層。當從一個電極注入的電子和從另一個電極注入的空穴在有機發射層中彼此結合以形成激子并且激子釋放能量時，有機發光二極管發光。
[0003]有機發光二極管顯示裝置包括多個像素，所述多個像素包括作為自發射元件的有機發光二極管，在每個像素中，形成用于驅動有機發光二極管的多個晶體管和一個或更多個電容器。所述多個晶體管基本上包括開關晶體管和驅動晶體管。
[0004]有機發光二極管顯示裝置的布線圖案可以通過使用光刻工藝形成。曝光工藝(光刻工藝的一部分)中使用的曝光掃描儀的多個透鏡會在其端部彼此疊置，曝光量在透鏡的疊置部分會是不均勻的。在這種情況下，布線圖案會從待形成布線圖案的位置(例如，預定的位置)移位(例如，移動預定的距離)，并且會發生與形成在其下或其上的布線的疊置距離變化的覆蓋改變(overlay change) 0根據覆蓋改變，存儲電容可能改變，結果，在像素中流動的電流是不均勻的并且會產生斑點。
[0005]在這個【背景技術】部分中公開的以上信息僅為了增強對本發明的背景的理解，因此它可能包含不形成本領域普通技術人員在本國已知的現有技術的信息。
【發明內容】
[0006]本發明的多個方面提供了可以減少(或防止)由于覆蓋改變造成的斑點的有機發光二極管顯示裝置。
[0007]本公開的示例性實施例提供了一種有機發光二極管顯示裝置，所述有機發光二極管顯示裝置包括:基底；掃描線，位于基底上并被構造為傳遞掃描信號；數據線和驅動電壓線，與掃描線交叉并被構造為分別傳遞數據電壓和驅動電壓；開關晶體管，與掃描線和數據線連接并且包括被構造為輸出數據電壓的開關漏電極；驅動晶體管，包括與開關漏電極連接的驅動柵電極；存儲電容器，包括與驅動柵電極連接的第一存儲電極和與驅動電壓線連接的第二存儲電極；有機發光二極管，與驅動晶體管的驅動漏電極電連接。存儲電容器包括:連接器，其中，第二存儲電極的邊緣沿朝向第二存儲電極的中心的方向從第一存儲電極的邊緣偏離；存儲補償器，面對連接器。
[0008]存儲電容器還可以包括主部分，其中，第二存儲電極的邊緣與第一存儲電極的邊緣隔開主余量寬度，以沿遠離第二存儲電極的中心的方向從第一存儲電極的邊緣偏離，在存儲補償器中，第二存儲電極的邊緣可以與第一存儲電極的邊緣隔開補償余量寬度，以沿朝向第二存儲電極的中心的方向從第一存儲電極的邊緣偏離。
[0009]主余量寬度可以是第一存儲電極的邊緣的工藝余量和第二存儲電極的邊緣的工藝余量的總和。
[0010]補償余量寬度可以具有從小于主余量寬度的1%的寬度至與主余量寬度相同的寬度的范圍。
[0011]存儲補償器可以包括第一存儲電極的第一切角部分和第二存儲電極的第二切角部分。
[0012]第二切角部分可以與第一切角部分隔開補償余量寬度，以沿朝向第二存儲電極的中心的方向從第一切角部分偏離。
[0013]存儲補償器可以在對角線上面對連接器。
[0014]存儲補償器可以包括第一存儲電極的第一角和第二存儲電極的第二角。
[0015]第二角可以與第一角隔開補償余量寬度，以沿朝向第二存儲電極的中心的方向從第一角偏離。
[0016]存儲補償器可以包括第一存儲電極的第一側和第二存儲電極的第二側。
[0017]第二側可以與第一側隔開補償余量寬度，以沿朝向第二存儲電極的中心的方向從第一側偏離。
[0018]連接器可以包括第一存儲電極的第三角和第二存儲電極的第三切角部分。
[0019]有機發光二極管顯示裝置還可以包括:半導體，位于基底上，并包括彼此隔開的開關晶體管的開關溝道和驅動晶體管的驅動溝道，驅動溝道可以與驅動柵電極疊置。
[0020]第一存儲電極可以與驅動柵電極對應，第二存儲電極可以與數據線和驅動電壓線位于同一層上。
[0021 ] 驅動溝道可以具有至少一個彎曲的部分。
[0022]所述有機發光二極管顯示裝置還可以包括:補償晶體管，包括作為掃描線的一部分的補償柵電極以及半導體中的補償源電極和補償漏電極；第一數據連接器，與數據線位于同一層上并且連接第一存儲電極和補償漏電極。
[0023]第一數據連接器可以與第一存儲電極的第三角連接。
[0024]驅動電壓線可以包括與數據線平行的第一驅動電壓線和與數據線交叉的第二驅動電壓線，第一驅動電壓線可以與數據線位于同一層上，第二驅動電壓線可以與掃描線位于同一層上。
[0025]根據本公開的示例性實施例，通過形成位于存儲電容器中以面對連接單元的存儲補償單元，當形成第一存儲電極或第二存儲電極時，即使由于曝光量的不均勻而發生覆蓋改變，存儲電容也可以基本上保持與之前相同。
[0026]另外，第二存儲電極以與驅動電壓線和數據線的材料相同的材料形成并與數據線形成在同一層上，結果，可以減少至少一個掩模來制造有機發光二極管顯示裝置。
【附圖說明】
[0027]圖1是根據本發明的示例實施例的有機發光二極管顯示裝置的一個像素的等效電路圖。
[0028]圖2是施加到根據本發明的示例實施例的有機發光二極管顯示裝置中的一個像素的信號的時序圖。
[0029]圖3是示意性地示出根據本發明的示例實施例的有機發光二極管顯示裝置中的多個晶體管和電容器的示圖。
[0030]圖4是圖3的詳細布局圖。
[0031]圖5是示出圖4的存儲電容器的放大布局圖。
[0032]圖6是示出當根據本發明的示例實施例的有機發光二極管顯示裝置中發生第二存儲電極的覆蓋改變時的存儲電容器的放大布局圖。
[0033]圖7是沿線VI1-VII截取的圖4的有機發光二極管顯示裝置的剖視圖。
[0034]圖8是沿線VII1-VIII截取的圖4的有機發光二極管顯示裝置的剖視圖。
[0035]圖9是沿線IX-1X截取的圖4的有機發光二極管顯示裝置的剖視圖。
[0036]圖10是根據本發明的另一示例實施例的有機發光二極管顯示裝置的布局圖。
[0037]圖11是示出圖10的存儲電容器的放大布局圖。
[0038]圖12是示出當圖11中發生第二存儲電極的覆蓋改變時的存儲電容器的放大布局圖。
[0039]圖13是根據本發明的又一示例實施例的有機發光二極管顯示裝置的布局圖。
[0040]圖14是示出當圖13中發生第二存儲電極的覆蓋改變時的存儲電容器的放大布局圖。
【具體實施方式】
[0041]在下文中，將參照附圖對示例實施例進行更詳細的描述，在附圖中，同樣的附圖標記始終指示同樣的元件。然而，本發明可以以各種不同的形式實施，并且不應該被解釋為僅限于在此示出的實施例。相反地，提供這些實施例作為示例，使得本公開將是徹底的和完整的，并將向本領域技術人員充分地傳達本發明的方面和特征。因此，可以不描述對于完全理解本發明的方面和特征的對本領域普通技術人員來說不必要的工藝、元件和技術。除非另有注釋，否則同樣的附圖標記在附圖和書面描述中始終表示同樣的元件，因此，將不重復對其的描述。在附圖中，為了清晰起見，可以夸大元件、層、膜、面板和區域的相對尺寸和厚度。因此，附圖和描述在本質上被認為是說明性的而非限制性的。
[0042]將理解的是，盡管這里可以使用術語“第一”、“第二”、“第三”等來描述各種元件、組件、區域、層和/或部分，但是這些元件、組件、區域、層和/或部分不應受這些術語限制。這些術語用于將一個元件、組件、區域、層或部分與另一元件、組件、區域、層或部分區分開。因此，在不脫離本發明的精神和范圍的情況下，以下描述的第一元件、組件、區域、層或部分可被稱作第二元件、組件、區域、層或部分。
[0043]這里可以使用空間相對術語(諸如“在……之下”、“在……下面”、“下面的”、“在……下方”、“在……上面”、“上面的”等)來易于解釋描述附圖中示出的一個元件或特征與另一個或多個元件或特征的關系。將理解的是，空間相對術語意圖包含除了在附圖中描述的方位之外的在使用或操作中的裝置的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉，則描述為“在”其他元件或特征“下面”或“之下”或“下方”的元件將隨后被定位為“在”所述其他元件或特征“上面”。因此，示例術語“在……下面”和“在……下方”可包含上面和下面兩種方位。裝置可被另外定位(例如，旋轉90度或在其他方位)，并應該相應地解釋這里使用的空間相對描述符。
[0044]將理解的是，當元件或層被稱為“在”另一元件或層“上”、“連接到”另一元件或層、“結合到”另一元件或層或者“與”另一元件或層“連接”時，該元件或層可能直接在所述另一元件或層上、直接連接到所述另一元件或層、直接結合到所述另一元件或層或者直接與所述另一元件或層連接，或者可能存在一個或更多個中間元件或層。另外，還將理解的是，當元件或層被稱為“在”兩個元件或層“之間”時，該元件或層可能是兩個元件或層之間的唯一的元件或層，或者也可能存在一個或更多個中間元件或層。
[0045]在這里使用的術語僅為了描述具體實施例的目的，而并非意圖限制本發明。除非上下文另有清楚的指示，否則在此使用的單數形式也意圖包括復數形式。還將理解的是，當在本說明書中使用術語“包括”、“包含”和其變形時，表示存在敘述的特征、整體、步驟、操作、元件和/或組件，但不排除存在或添加一個或更多個其他特征、整體、步驟、操作、元件、組件和/或其組。如這里使用的，術語“和/或”包括一個或更多個相關列出項目的任意和全部組合。當諸如“……中的至少一個(種)”的表述位于一列元件(要素)之后時，修飾整列的元件(要素)，而不是修飾列中的個別元件(要素)。
[0046]如這里使用的，術語“基本上”、“大約”和類似的術語被用作近似值的術語而不是程度的術語，并且意圖說明本領域普通技術人員將認可的測量值或計算值中的固有偏差。此外，當描述本發明的實施例時使用的“可以”是指“本發明的一個或更多個實施例”。如這里使用的，術語“使用”和其變形可以被認作分別與術語“利用”和其變形同義。另外，術語“示例性”意在指示例或圖示。
[0047]將理解的是，當元件或層被稱為“在”另一元件或層“上”、“連接到”另一元件或層或者“結合到”另一元件或層時，該元件可能直接在所述另一元件或層上、直接連接到所述另一元件或層或直接結合到所述另一元件或層，或者可能存在一個或更多個中間元件或層。此外，在整個說明書中，詞語“在……上”可意指放置在物體部分上或在物體部分下，但不在本質上意指基于重力方向放置在物體部分的上側上。另外，也將理解的是，當元件或層被稱為“在”兩個元件或層“之間”時，該元件或層可能是在兩個元件或層之間的唯一的元件或層，或者也可能存在一個或更多個中間的元件或層。
[0048]另外，在整個說明書中，詞語“在平面上”意指從頂部觀察目標部分，詞語“在橫截面上”意指從側面觀察通過豎直切割目標部分而形成的橫截面。
[0049]除非另有定義，否則在此使用的所有術語(包括技術術語和科學術語)具有與本發明所屬領域的普通技術人員的一般理解的含義相同的含義。還將理解的是，除非這里明確定義，否則術語(諸如常用詞典中所定義的術語)應被解釋為具有與它們在相關領域和/或本說明書的上下文中的含義一致的含義，并且不應該理想化或過于形式地被解釋。
[0050]這里描述的根據本發明的實施例的有機發光二極管顯示裝置和/或任何其他相關的裝置或組件可以利用任何合適的硬件、固件(例如，應用型專用集成電路)、軟件或者軟件、固件和硬件的合適組合來實施。例如，有機發光二極管顯示裝置的各種組件可以形成在一個集成電路(IC)芯片上或在單獨的IC芯片上。此外，有機發光二極管