技術總結
本實用新型屬于超高真空設備的多維驅動領域，特別涉及一種連體五維旋轉樣品驅動器。該驅動器包括X向轉動機構、X向移動機構、Y向轉動機構、Y向移動機構、Z向移動機構，以上五個機構相互連接，并分別連接樣品托盤組件。本實用新型有別于以往單一的一維驅動器和簡單的二維角度驅動器，采用微分頭直線驅動器結合磁耦合直線導入器和一維直線驅動器，可實現被驅動件的軸向驅動或繞固定軸的角度擺動，從維度上講，利用了直線驅動與旋轉驅動的結合達到了五維的驅動，無論真空內外均對磁環境沒有嚴格要求，且驅動的精度高、操縱性好。
技術研發人員：郭方準
受保護的技術使用者：大連齊維科技發展有限公司
文檔號碼：201720153334
技術研發日：2017.02.21
技術公布日：2017.10.10