一種切割機的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體切割設備技術領域，尤其是一種高精度、高穩定性的切割機。
【背景技術】
[0002]在半導體的切割加工中，半導體通過切割加工被切割成許多矩形區域，每個矩形區域形成一個預定的電路模塊，具有電路模式的許多矩形區域被切割并且分離形成所謂的半導體晶片。
[0003]傳統的半導體切割設備在某一方向對半導體進行切割后需要重新對半導體的切割方向進行人工調整后再進行切割，影響了切割效率，并存在切割精度不高、性能不夠穩定的缺點。
【實用新型內容】
[0004]針對上述現有技術中存在的不足，本實用新型的目的在于提供一種高精度、高效率和高穩定性的切割機。
[0005]為了解決以上提出的問題，本實用新型采用的技術方案為:
[0006]—種切割機，包括基臺、X軸傳動機構、Y軸傳動機構、Z軸傳動機構、主軸切割裝置和旋轉機構；
[0007]所述X軸傳動機構固定在所述基臺上，所述旋轉機構連接于所述X軸傳動機構并由X軸傳動機構驅動沿X軸方向運行；
[0008]所述Y軸傳動機構固定在所述基臺上，所述Z軸傳動機構連接于所述Y軸傳動機構并由Y軸傳動機構驅動沿Y軸方向運行；
[0009]所述主軸切割裝置固定在所述Z軸傳動機構上并由Z軸傳動機構驅動沿Z軸方向運行。
[0010]優選地，所述X軸傳動機構、Y軸傳動機構和z軸傳動機構均為滾珠絲杠導軌傳動機構。
[0011]優選地，所述旋轉機構包括底座、感應組件、直接驅動電機、吸盤底座和吸盤；
[0012]所述底座與X軸傳動機構滑動連接，所述感應組件與直接驅動電機連接在所述底座上，所述吸盤通過所述吸盤底座固定于直接驅動電機的驅動端上，所述吸盤底座上設置有用于定位固定載具的定位組件和一塊擋板。
[0013]優選地，所述感應組件包括連接座、第一傳感器、第二傳感器、彈簧、滑桿和滑動擋塊；
[0014]所述連接座連接于所述底座的一側，所述滑動擋塊套設在所述滑桿上，且滑動擋塊兩側的滑桿上套設有彈簧，使得滑動擋塊可滑動的設置于滑桿上，所述彈簧的兩端固定在所述連接座和滑動擋塊上，所述第一傳感器和第二傳感器均用于檢測所述滑動擋塊并設置于所述連接座上。
[0015]優選地，所述主軸切割裝置包括主軸、刀具、清洗組件、固定件和基板；
[0016]所述主軸固定在所述固定件上并通過基板滑動連接在所述Z軸傳動機構上，所述刀具固定在主軸的一端，所述清洗組件也固定在主軸上并包覆所述刀具。
[0017]優選地，所述固定件上連接有用于對待切工件進行定位校準的相機裝置。
[0018]優選地，所述清潔組件上設置有若干個用于清潔的水幕通道、噴水通道和噴氣通道。
[0019]優選地，所述切割機還包括固定在所述基臺上的水箱，所述水箱上固定有防水箱，所述主軸切割裝置穿過所述防水箱延伸至所述水箱內。
[0020]優選地，所述水箱與防水箱上均設置有風琴罩。
[0021]由于采用了上述方案，本實用新型通過主軸切割裝置聯合X、Y、Z軸傳動機構的運行對待切工件進行切割，并利用旋轉機構對待切工件進行多方向轉動切割，利用相機裝置對待切工件進行定位校準，該切割機具有切割精度高、穩定性高和自動化水平高的優點。
【附圖說明】
[0022]圖1是本實用新型的整體結構圖；
[0023]圖2是本實用新型的水箱與防水箱安裝示意圖；
[0024]圖3是本實用新型的旋轉機構與X軸傳動機構連接示意圖；
[0025]圖4是本實用新型的旋轉機構結構示意圖；
[0026]圖5是本實用新型的旋轉機構的全剖結構示意圖；
[0027]圖6是本實用新型的感應組件結構示意圖；
[0028]圖7是本實用新型的主軸切割裝置結構示意圖；
[0029]圖8是本實用新型的相機裝置結構示意圖；
[0030]圖9是本實用新型的清潔組件結構示意圖。
【具體實施方式】
[0031]為了便于理解本實用新型，下面將參照相關附圖對本實用新型進行更全面的描述。附圖中給出了本實用新型的較佳實施例。但是，本實用新型可以以許多不同的形式來實現，并不限于本文所描述的實施例。相反地，提供這些實施例的目的是使對本實用新型的公開內容的理解更加透徹全面。
[0032]除非另有定義，本文所使用的所有的技術和科學術語與屬于本實用新型的技術領域的技術人員通常理解的含義相同。本文中在本實用新型的說明書中所使用的術語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制本實用新型。
[0033]如圖1與圖2所示，本實用新型實施例的一種切割機，包括基臺1、Χ軸傳動機構2、Υ軸傳動機構4、Ζ軸傳動機構5、主軸切割裝置6和旋轉機構3。
[0034]基臺1由平面基體和垂直架體構成，X軸傳動機構2固定在基臺1的平面基體上，旋轉機構3連接于X軸傳動機構2上并可由X軸傳動機構2驅動沿X軸方向往復運行；Υ軸傳動機構4固定在基臺1的垂直架體上，Ζ軸傳動機構5連接于Υ軸傳動機構4并可由Υ軸傳動機構4驅動沿Υ軸方向往復運行；主軸切割裝置6固定在Ζ軸傳動機構5上并可由Ζ軸傳動機構5驅動沿Ζ軸方向運行。
[0035]該切割機還包括固定在基臺1上的水箱8，水箱8上固定有防水箱9，水箱8與防水箱9上均設置有風琴罩10，水箱8的一對向側壁上設有排水槽11，水箱8上的兩個風琴罩10設置在一對排水槽11之間，并且設于旋轉機構3的兩側，防水箱9上的兩個風琴罩10設于主軸切割裝置6的兩側。
[0036]上述中，X軸傳動機構2、Y軸傳動機構4和Z軸傳動機構5均為滾珠絲杠導軌傳動機構進行驅動，X軸傳動機構2位于水箱8的下部，水箱8上設置的風琴罩10用于防止水進入X軸傳動機構2中，Y軸傳動機構4與Z軸傳動機構5位于水箱8的上部，防水箱9上設置的風琴罩10用于防止對切割刀進行清洗和冷卻的水分濺到Y軸傳動機構4與Z軸傳動機構5上，主軸切割裝置6穿過防水箱9延伸至水箱8內，用于對待切工件37進行切害J，旋轉機構3置于水箱8內，用于對待切工件37進行旋轉。
[0037]如圖2所示，水箱8上設置有排廢氣口 81和排廢水口 82，排廢氣口 81位于水箱8的上方，排廢水口 82位于水箱8的底部一端且與排水槽11連通，通過連接排氣與排水系統以用于對切割作業中進行排廢，保持清潔。
[0038]如圖3、圖4與圖5所示，本實用新型實施例的旋轉機構3包括底座31、感應組件33、直接驅動電機32、吸盤底座34和吸盤35 ;其中，底座31的底端中部與X軸傳動機構2的滾珠絲杠螺母連接，底座31的底端兩側與X軸傳動機構2的導軌滑動連接，感應組件33連接在底座31的側壁上，直接驅動電機32連接在底座31的上端面上，吸盤35通過吸盤底座34固定于直接驅動電機32的驅動端上，該吸盤底座34利用螺紋連接固定于直接驅動電機32的驅動端上，吸盤底座34的上端設置有用于定位固定載具36的定位組件341，由定位組件341上設置的銷釘3411定位載具36，吸盤底座34的邊沿上固定有一塊擋板344。
[0039]上述中，本實施例的吸盤35設置成密布微孔的真空吸盤，密布微孔的真空吸盤上的中心孔351與吸盤底座34上的第一通孔342、直接驅動電機32 (DD馬達)的軸孔321相通，并通過第一氣路連接管(圖中未示出)與外部抽真空裝置連接，對密布微孔的真空吸盤上的第一環狀氣路352抽真空將載具36上的薄膜(圖中未示出)和貼附固定在載具36薄膜上的待切工件37進行吸附固定，從而將待切工件37進行固定；吸盤底座34上表面的第二環狀氣路345與吸盤底座34上的第二通孔343、直接驅動電機32的軸孔321相通，并通過第二氣路連接管(圖中未示出)與外部抽真空裝置連接，對吸盤底座34上的第二環狀氣路345抽真空以致對密布微孔的真空吸盤產生負壓作用，從而對密布微孔的