石英坩堝切割裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種高溫爐用工裝，具體地說是一種石英坩禍切割裝置，特別是涉及一種用于切割碳/碳復合材料坩禍內石英坩禍的切割裝置。
【背景技術】
[0002]單晶爐拉制單晶硅棒時，由于爐內溫度高達1500°C左右，放置于碳/碳復合材料坩禍內的石英坩禍變軟，要靠外面的碳/碳復合材料坩禍承托。由于石英坩禍是一次性工裝，必須逐爐更換，當碳/碳復合材料坩禍為整體或整圓結構時，拉晶時的整棒率和成晶率較高，但是，出爐冷卻以后，石英坩禍與碳/碳復合材料坩禍的內壁貼得很緊，破碎非常困難，如去除方法不當，甚至損壞碳/碳復合材料坩禍。
[0003]為此，專利號為201120281366.2，發明名稱為方便清理石英坩禍殘體的碳/碳復合材料坩禍的專利公開了一種在碳/碳復合材料坩禍的禍體上開設有導熱冷卻槽，導熱冷卻槽為通槽。導熱冷卻槽的設立在加熱時有利于熱的傳導，在冷卻時又有利于石英坩禍的局部裸露部位冷卻較快而脆化，以方便對石英坩禍的去除。但由于單晶爐冷卻時是密封的，爐膛冷卻速度本來就很慢，開槽對石英坩禍冷卻加快的作用非常有限。在實際應用中，效果并不理想。
[0004]專利號為201120182570.9，發明名稱為炭素材料組合坩禍的專利公開了一種包括由碳/碳復合材料或石墨材料制備的禍體，所述的禍體包括禍筒、禍碗，所述的禍筒為圓筒狀，所述的禍碗為2瓣?4瓣，使用時，吊起禍筒，使禍筒與禍碗分離，因禍碗由多瓣組成，很容易的將禍碗與石英坩禍殘體分離。但其多瓣結構僅靠其底錐面與禍托的內錐面配合而成為一體，多瓣結構坩禍的圓度不佳，且在使用過程中，其圓度還有可能發生變化，影響拉晶環境的穩定，整棒率和成晶率均受到影響，導致企業生產成本增加。
【發明內容】
[0005]本實用新型的目的是提供一種用于切割碳/碳復合材料坩禍內石英坩禍的切割
目.ο
[0006]本實用新型是采用如下技術方案實現其發明目的的，一種石英坩禍切割裝置，它包括安裝在碳/碳復合材料坩禍開口端面的環形定位座，環形定位座上安裝有導軌支座，導軌支座上設有與碳/碳復合材料坩禍內壁形狀一致的彎曲導軌，導軌支座上設有可在彎曲導軌上移動的移動組件，所述移動組件上設有包括至少I片圓盤鋸片的切割機，所述圓盤鋸片的軸心運行軌跡與彎曲導軌的中心線相同。
[0007]為方便調節圓盤鋸片的徑向、軸向的切割深度，以彌補圓盤鋸片的磨損，本實用新型環形定位座上安裝有水平導軌，水平導軌上設有可在水平導軌上滑動的軸向調節滑塊、徑向調節滑塊，導軌支座通過軸向調節螺母、軸向調節螺桿與軸向調節滑塊連接，徑向調節滑塊通過徑向調節螺母、徑向調節螺桿與環形定位座連接；所述導軌支座與徑向調節滑塊通過垂直導軌連接，導軌支座與徑向調節滑塊均可在垂直導軌上滑動。
[0008]本實用新型的另外一種調節方式，是在環形定位座上安裝有水平導軌，水平導軌上設有可在水平導軌上滑動的徑向調節滑塊，徑向調節滑塊通過徑向調節螺母、徑向調節螺桿與環形定位座連接；徑向調節滑塊上設有軸向調節安裝板，導軌支座通過軸向調節螺母、軸向調節螺桿與軸向調節安裝板連接；所述導軌支座與徑向調節滑塊通過垂直導軌連接，導軌支座與徑向調節滑塊均可在垂直導軌上滑動。
[0009]本實用新型的另外一種調節方式，是在環形定位座上安裝有連接件，導軌支架上設有支架連接件，連接件與支架連接件上設有相互對應的調節孔，所述調節孔的中心線與水平面成45°角，帶有調節螺母的調節螺桿安裝在導向孔中，與支架連接件固定連接，與連接件滑動配合。
[0010]為使調節準確，本實用新型連接件與支架連接件上設有相互對應的導向孔，所述導向孔的中心線與水平面成45°角，導向軌安裝在導向孔中，與連接件固定連接，與支架連接件滑動配合。
[0011]為確保移動組件在彎曲導軌上滑動，本實用新型所述移動組件上設有用于卡在彎曲導軌上的卡槽，所述移動組件的卡槽可在彎曲導軌上滑動。
[0012]為減少移動組件滑動時的摩擦，本實用新型所述卡槽上安裝有滾珠軸承，使卡槽與彎曲導軌的接觸面之間的摩擦為滾動摩擦。
[0013]本實用新型所述環形定位座上設有與碳/碳復合材料坩禍開口端面配合的臺階，環形定位座通過鎖緊螺栓安裝在碳/碳復合材料坩禍上。
[0014]為環保，防止切割時產生的粉塵污染環境，本實用新型所述環形定位座上設有密封蓋。
[0015]由于采用上述技術方案，本實用新型較好的實現了發明目的，其結構簡單，操作方便，通過鋸片將石英坩禍切割出一條貫通坩禍端口至坩禍底部中心的槽，同時，由于能夠準確控制切割深度，能切穿石英坩禍而不傷及碳/碳復合材料坩禍，切割完成以后只要輕輕敲打石英坩禍，就能夠將石英坩禍打碎并使之掉落，大大減輕了操作人員的勞動強度，有效地減輕了去除石英禍殘體時對碳/碳復合材料坩禍的損傷，延長了碳/碳復合材料坩禍的使用壽命。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實用新型實施例1的結構示意圖；
[0017]圖2是圖1的俯視圖；
[0018]圖3是本實用新型實施例3的結構示意圖；
[0019]圖4是圖3的俯視圖；
[0020]圖5是本實用新型實施例5的結構示意圖；
[0021]圖6是圖5的俯視圖；
[0022]圖7是本實用新型實施例7的結構示意圖；
[0023]圖8是圖7的俯視圖。
【具體實施方式】
[0024]下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。
[0025]實施例1:
[0026]由圖1、圖2可知，一種石英坩禍切割裝置，它包括安裝在碳/碳復合材料坩禍11開口端面的環形定位座8，環形定位座8上安裝有導軌支座7，導軌支座7上設有與碳/碳復合材料坩禍11內壁形狀一致的彎曲導軌13，導軌支座7上設有可在彎曲導軌13上移動的移動組件9，所述移動組件9上設有包括至少I片圓盤鋸片10的切割機，所述圓盤鋸片10的軸心運行軌跡與彎曲導軌13的中心線相同。
[0027]為確保移動組件9在彎曲導軌13上滑動，本實用新型所述移動組件9上設有用于卡在彎曲導軌13上的卡槽，所述移動組件9的卡槽可在彎曲導軌13上滑動。
[0028]為減少移動組件9滑動時的摩擦，本實用新型所述卡槽上安裝有滾珠軸承，使卡槽與彎曲導軌13的接觸面之間的摩擦為滾動摩擦。
[0029]本實用新型所述環形定位座8上設有與碳/碳復合材料坩禍11開口端面配合的臺階，環形定位座8通過鎖緊螺栓15安裝在碳/碳復合材料坩禍11上。
[0030]為環保，防止切割時產生的粉塵污染環境，本實用新型所述環形定位座8上設有密封蓋。
[0031]本實施例環形定位座8上設有與碳/碳復合材料坩禍11開口端面和外圓面配合的臺階，導軌支座7通過連接塊17固定安裝在環形定位座8上，所述導軌支座7為“匚”形，移動組件9通過卡槽安裝在導軌支座7的兩根彎曲導軌13之間；為簡單，切割機采用單片圓盤鋸片10的手持切割機。
[0032]工作時，先將移動組件9移動到彎曲導軌13的上端并固定，將已經去掉殘余硅料、內部附有石英坩禍12，且開口朝上的碳/碳復合材料坩禍11平穩放置于工作臺或者地面，將環形定位座8通過與碳/碳復合材料坩禍11開口端面和外圓面配合的臺階，安裝在碳/碳復合材料坩禍11上，擰緊鎖緊螺栓15 ;然后，接通手持切割機的電源，輕輕放下移動組件9，手持切割機開始切割石英坩禍12，再蓋上密封蓋；移動組件9在自身重力的作用下沿彎曲導軌13自動向下移動，將石英坩禍12切出一條貫通碳/碳復合材料坩禍11開口至底部中心的長槽。待切到碳/碳復合材料坩禍11的禍底時，關掉電源，卸掉環形定位座8，輕輕敲打石英坩禍12使之碎裂，并倒出碎裂的石英坩禍12殘體。
[0033]本實用新型結構簡單，操作方便，減輕了工人的勞動強度，同時有效地減輕了去除石英禍殘體時對碳/碳復合材料坩禍的損傷，延長了碳/碳復合材料坩禍的使用壽命。
[0034]實施例2:
[0035]為更好地去除石英禍殘體，本實施例所述的切割機上設有2片圓盤鋸片10，2片