一種晶圓切片方法及切片系統(tǒng)與流程

本發(fā)明涉及光伏產(chǎn)品制備，尤其涉及一種晶圓切片方法及切片系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、晶圓片是由對晶棒進(jìn)行切片而得到，而在晶棒切片時，都會對其噴淋切割液，以達(dá)到降溫、沖洗切片所產(chǎn)生的硅粉的目的，而不同的切割液會對晶圓切片的穩(wěn)定性、表面潔凈度帶來不同的影響。效果最好的是切割液全部用標(biāo)準(zhǔn)切割液，標(biāo)準(zhǔn)切割液即為用純水與切割原液按照應(yīng)一定比例配置而成的切割液，但是一直用標(biāo)準(zhǔn)切割液成本太高，從而使得切片成本高。

2、由于半導(dǎo)體晶圓制造對于成本的訴求日益增高，而大尺寸晶圓在單位產(chǎn)出芯片的數(shù)量和單位成本具有優(yōu)勢，因此半導(dǎo)體硅襯底片的尺寸也趨于大直徑化，從最早的2英寸、3英寸發(fā)展到當(dāng)今的8英寸、12英寸、18英寸。而晶圓尺寸越大，其切片時的穩(wěn)定性、晶圓表面的潔凈度要求更高，而切片成本也更高，所以需要一種不但能保證切片時的穩(wěn)定性與晶圓表面潔凈度，還能降低切片成本。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于克服上述缺點，提供一種晶圓切片方法及切片系統(tǒng)，其能可保證切割工藝的穩(wěn)定性，提升晶圓ttv/warp切割良率，還能降低切片成本。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是：

3、一種晶圓切片方法，包括：在切片過程中，入刀階段的切割液采用標(biāo)準(zhǔn)切割液，入刀階段之外的其他階段的切割液采用混合有回收液的成品切割液。

4、所述標(biāo)準(zhǔn)切割液由純水與切割原液混合攪拌調(diào)配而成，所述成品切割液由回收液、純水與切割原液混合攪拌調(diào)配而成。

5、所述標(biāo)準(zhǔn)切割液的調(diào)配方法為：將純水與切割原液按照固定比例混合攪拌，再檢測混合液體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)，如果達(dá)標(biāo)，則表示混合液體可作為所述標(biāo)準(zhǔn)切割液使用；如果不達(dá)標(biāo)，根據(jù)檢測結(jié)果再注入純水或者切割原液，注入過程中實時檢測，直至其達(dá)標(biāo)為止。

6、初始時，將純水與切割液按照固定比例混合時，當(dāng)純水與切割液的總量到第一設(shè)定量時，暫停加入水與切割液，再檢測混合液體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)，當(dāng)檢測達(dá)標(biāo)后，暫停加入水、切割原液。

7、切片過程中，當(dāng)所述標(biāo)準(zhǔn)切割液少于第二設(shè)定量時，再將純水與切割原液按照固定比例加入標(biāo)準(zhǔn)切割液里混合攪拌，且當(dāng)液體的總量到第一設(shè)定值時，再次暫停加入水與切割液，再檢測混合液體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)。

8、過檢測混合液體內(nèi)某一有效成分的濃度是否達(dá)到設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)來檢測混合液體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)。

9、在切片過程中，回收切片產(chǎn)生的廢液并進(jìn)行處理，并對經(jīng)過處理后的廢液進(jìn)行濁度檢測，若濁度達(dá)標(biāo)，可作為所述回收液使用；若不達(dá)標(biāo)，再次進(jìn)行處理，直至其濁度達(dá)標(biāo)為止。

10、按照固定比例將所述回收液與純水、切割原液注入成品液調(diào)配容器內(nèi)，當(dāng)成品液調(diào)配容器內(nèi)的混合液體總量達(dá)到第三設(shè)定量時，暫停注入，檢測混合液體是否達(dá)到成品切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)，如果不達(dá)標(biāo)，根據(jù)檢測按結(jié)果再注入純水或者切割原液，注入過程中實時檢測，直至混合液體達(dá)到成品切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)。

11、將檢測達(dá)標(biāo)的成品液調(diào)配容器內(nèi)的混合液體注入成品液容器內(nèi)，并使得所述成品液容器內(nèi)的液體一直處于被攪拌狀態(tài)，成品液容器內(nèi)的液體即為所述混合有回收液的成品切割液；較佳的，通過檢測成品液調(diào)配容器內(nèi)混合液體內(nèi)某一有效成分的濃度是否達(dá)到設(shè)定標(biāo)準(zhǔn)來檢測該混合液體是否達(dá)到成品切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)。

12、當(dāng)成品液調(diào)配容器內(nèi)的液體總量少于第四設(shè)定量時，暫停往成品液容器內(nèi)注入；再將純水、切割原液與所述檢測達(dá)標(biāo)的回收液按照固定比例注入成品液調(diào)配容器內(nèi)，直至液體總量再度達(dá)到第三設(shè)定量時，暫停注入，檢測混合液體是否達(dá)到成品切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)，如上往復(fù)循環(huán)。

13、在標(biāo)準(zhǔn)切割液、成品切割液的攪拌過程中，實時檢測液體的溫度，當(dāng)溫度超過設(shè)定溫度的最高值時，對液體進(jìn)行降溫，以使得液體的溫度處于設(shè)定溫度的范圍內(nèi)。

14、一種晶圓切片系統(tǒng)，包括；

15、標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置，可提供標(biāo)準(zhǔn)切割液；

16、成品切割液供液裝置，可提供混合有回收液的成品切割液；

17、動態(tài)調(diào)控組，與所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置、成品切割液供液裝置連接；

18、根據(jù)所述動態(tài)調(diào)控組的控制，在切片的入刀階段，由所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置提供標(biāo)準(zhǔn)切割液，在入刀階段之外的其他切片階段，切換至由所述成品切割液供液裝置提供混合有回收液的成品切割液。

19、所述晶圓切片系統(tǒng)還包括與所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置、成品切割液供液裝置連接的純水供液裝置、切割原液供液裝置以及與成品切割液供液裝置連接的在線廢液回收處理裝置，所述在線廢液回收處理裝置被設(shè)置為可在線回收、處理切片過程中產(chǎn)生的廢液而得到所述回收液；所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置接收純水供液裝置供給的純水以及切割原液供液裝置供給的切割原液，并將其調(diào)配成合格的所述標(biāo)準(zhǔn)切割液；所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置接收純水供液裝置供給的純水、切割原液供液裝置供給的切割原液以及經(jīng)所述在線廢液回收處理裝置提供的回收液，并將其調(diào)配成合格的所述混合有回收液的成品切割液。

20、所述晶圓切片系統(tǒng)還包括濁度檢測裝置，其對經(jīng)過在線廢液回收處理裝置回收、處理后的廢液進(jìn)行濁度檢測。

21、所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置包括：

22、標(biāo)準(zhǔn)切割液調(diào)配裝置，其包括標(biāo)準(zhǔn)液配液容器以及設(shè)置于所述標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的攪拌裝置，所述純水供液裝置內(nèi)的純水以及切割原液供液裝置內(nèi)的切割原液可注入所述標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)，所述攪拌裝置對標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的液體進(jìn)行攪拌；

23、標(biāo)準(zhǔn)切割液檢測裝置，用于檢測標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的液體是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)。

24、所述標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)設(shè)置有第一液位線與第二液位線，當(dāng)液體達(dá)到第一液位線時，表示標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的液體總量到第一設(shè)定量；當(dāng)液體達(dá)到第二液位線時，表示標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的液體總量到第二設(shè)定量；所述標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)還設(shè)置有液位傳感器，所述液位傳感器被設(shè)置為用于檢測標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)的液體的液位。

25、所述標(biāo)準(zhǔn)切割液供液裝置還包括與標(biāo)準(zhǔn)液配液容器連接的溫控組件，所述溫控組件包括用于監(jiān)控標(biāo)準(zhǔn)液配液容器內(nèi)液體溫度的溫度傳感器、用于對液體進(jìn)行降溫的降溫裝置。

26、所述成品切割液供液裝置包括：

27、成品液調(diào)配容器，所述純水供液裝置內(nèi)的純水以及切割原液供液裝置內(nèi)的切割原液、回收液注入所述成品液調(diào)配容器內(nèi)；

28、成品切割液檢測裝置，用于檢測成品液調(diào)配容器內(nèi)的混合液體是否達(dá)到成品切割液的使用標(biāo)準(zhǔn)；

29、成品液容器，用于接收經(jīng)成品切割液檢測裝置檢測達(dá)標(biāo)的檢測成品液調(diào)配容器內(nèi)的混合液體，且所述成品液容器內(nèi)設(shè)有攪拌裝置，所述攪拌裝置對成品液容器內(nèi)的液體進(jìn)行攪拌，成品液容器內(nèi)的液體即為所述混合有回收液的成品切割液。

30、所述成品液調(diào)配容器內(nèi)設(shè)置有第三液位線與第四液位線，當(dāng)成品液調(diào)配容器內(nèi)的液體達(dá)到第三液位線時，表示成品液調(diào)配容器內(nèi)的液體總量到第三設(shè)定量；當(dāng)液體達(dá)到第四液位線時，表示成品液調(diào)配容器內(nèi)的液體總量到第四設(shè)定量；所述成品液調(diào)配容器內(nèi)也設(shè)置有液位傳感器，該液位傳感器被設(shè)置為用于檢測成品液調(diào)配容器內(nèi)的液體的液位。

31、所述準(zhǔn)切割液檢測裝置、成品切割液檢測裝置均被設(shè)置為成分檢測裝置；

32、所述成品切割液供液裝置也還包括與所述成品液容器連接的溫控組件，所述溫控組件包括用于監(jiān)控成品液容器內(nèi)液體溫度的溫度傳感器、用于對液體進(jìn)行降溫的降溫裝置。

33、因為本發(fā)明采用了上述技術(shù)方案，從而具有以下有益效果：

34、1、切片時，入刀階段采用標(biāo)準(zhǔn)切割液，因為標(biāo)準(zhǔn)切割液中不含顆粒性的雜質(zhì)，從而能更好地沖洗掉切割面上的硅粉、硅泥，避免雜質(zhì)顆粒污染切割液造成入刀不良的風(fēng)險，從而不但可提高晶圓表面的潔凈度，而且可保證切割工藝的穩(wěn)定性，提升晶圓ttv/warp切割良率；

35、2、除入刀之外的其他切片階段用混合了回收液的成品切割液，從而可節(jié)省切割原液成本，從而降低晶圓切片成本；而且成品切割液不是只有回收處理后的廢液，而是還混合了純水與切割原液，從而也能保證成品切割液整體的穩(wěn)定性，保證入刀之外的其他切片階段的工藝穩(wěn)定性，進(jìn)一步保證晶圓整體的表面潔凈度與ttv/warp切割良率；

36、3、不管是標(biāo)準(zhǔn)切割液還是成品切割液，在調(diào)配時，都是先按照固定比例加入對應(yīng)的液體，在成分檢測不達(dá)標(biāo)之后，再根據(jù)檢測結(jié)果動態(tài)注入純水與切割原液，這種方式組合，可使得達(dá)標(biāo)(即能投入使用的)標(biāo)準(zhǔn)切割液與成品切割液的調(diào)配更容易掌控；

37、4、切片過程中，標(biāo)準(zhǔn)切割液與成品切割液都能在線調(diào)配，而且能根據(jù)各切割液的使用量實時調(diào)配，從而不但能減少各切割液搬運的復(fù)雜，還能保證標(biāo)準(zhǔn)切割液、成品切割液的正常供應(yīng)，從而保證切片的正常進(jìn)行；

38、5、在線回收切片過程中產(chǎn)生的廢液并將其處理成為可再利用的回收液，可防止廢液在切片機內(nèi)堆積，從而可以提高切片機內(nèi)的潔凈度，如此，可進(jìn)一步提高切片工藝的穩(wěn)定性，從而提高晶圓表面的潔凈度與切片質(zhì)量，即提高晶圓ttv/warp切割良率；

39、6、利用動態(tài)調(diào)控組進(jìn)行不同切割液的切換，可減少人員勞動強度。