本技術(shù)涉及硅工件加工,特別是涉及一種邊皮防崩邊裝置和臥式硅棒開方機(jī)。
背景技術(shù):
1、目前,隨著社會(huì)對(duì)綠色可再生能源利用的重視和開放,光伏太陽(yáng)能發(fā)電領(lǐng)域越來越得到重視和發(fā)展。光伏發(fā)電領(lǐng)域中,通常的晶體硅太陽(yáng)能電池是在高質(zhì)量硅片上制成的,這種硅片從提拉或澆鑄的硅錠后通過多線鋸切割及后續(xù)加工而成。
2、現(xiàn)有硅片的制作流程,以單晶硅產(chǎn)品為例,一般地,大致的作業(yè)工序可包括:對(duì)原初的長(zhǎng)硅棒進(jìn)行截?cái)嘧鳂I(yè)以形成多段短硅棒;對(duì)截?cái)嗪蟮亩坦璋暨M(jìn)行開方切割作業(yè)后形成呈矩形狀的已切割的硅棒;對(duì)已切割的硅棒進(jìn)行磨面、倒角等加工作業(yè);再對(duì)硅棒進(jìn)行切片作業(yè),則得到單晶硅片。
3、在相關(guān)的硅棒開方切割作業(yè)中,利用硅棒切割設(shè)備對(duì)待切割的硅棒進(jìn)行開方切割,硅棒經(jīng)開方切割后會(huì)形成邊皮。某些情形下,由于硅棒主體與切割的邊皮均無相應(yīng)的支撐,這樣的設(shè)計(jì)也帶來了某些問題:所述切割線鋸在最后穿出待切割的硅棒時(shí)邊皮可能會(huì)與硅棒主體發(fā)生相對(duì)位移而出現(xiàn)崩邊的狀況;此外,被切割后產(chǎn)生的邊皮可能因沒有相應(yīng)的支撐而存在發(fā)生掉落或傾覆等風(fēng)險(xiǎn)。再有,邊皮卸料方式大多還是由操作人員手工操作將邊皮脫離于已切割硅棒并將其搬離出硅棒開方設(shè)備,不僅效率低下,且在搬運(yùn)過程中會(huì)使得邊皮與已切割硅棒發(fā)生碰撞而增加已切割硅棒損傷的風(fēng)險(xiǎn),則邊皮難以再利用。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、鑒于以上所述相關(guān)技術(shù)的不足,本技術(shù)的目的在于提供一種臥式硅棒開方機(jī),用于解決現(xiàn)有相關(guān)技術(shù)中存在的設(shè)備整體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、占用空間大、設(shè)備擴(kuò)展性較差、硅棒切割效率低下等問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的,本技術(shù)公開一種邊皮防崩邊裝置,應(yīng)用于硅棒開方設(shè)備中,所述邊皮防崩邊裝置包括:夾緊支座;邊皮夾具,設(shè)于所述夾緊支座上;所述邊皮夾具包括夾座、沿夾持方向?qū)ο虿荚O(shè)的至少一對(duì)端面夾頭、以及用于驅(qū)動(dòng)所述至少一對(duì)端面夾頭中的至少一端面夾頭沿夾持方向移動(dòng)的夾頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu);所述端面夾頭包括硅棒頂壓件、邊皮頂壓件、以及邊皮夾緊加強(qiáng)件;邊皮夾具進(jìn)退機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述邊皮夾具沿進(jìn)退方向進(jìn)退。
3、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述端面夾頭包括:夾持基體、設(shè)于所述夾持基體的硅棒頂壓件和邊皮頂壓件、以及相對(duì)所述夾持基體沿夾持方向進(jìn)退的邊皮夾緊加強(qiáng)件。
4、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,在所述端面夾頭中,所述硅棒頂壓件包括設(shè)于所述夾持基體的硅棒頂壓螺釘,所述邊皮頂壓件包括設(shè)于所述夾持基體的邊皮頂壓螺釘,所述邊皮夾緊加強(qiáng)件包括受控相對(duì)所述夾持基體進(jìn)退的伸縮頂桿或伸縮頂塊。
5、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述端面夾頭還包括用于調(diào)整所述夾持基體位置的偏動(dòng)微調(diào)結(jié)構(gòu)。
6、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述偏動(dòng)微調(diào)結(jié)構(gòu)包括鉸接結(jié)構(gòu),所述夾持基體通過鉸接結(jié)構(gòu)設(shè)置。
7、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述偏動(dòng)微調(diào)結(jié)構(gòu)包括球頭結(jié)構(gòu),所述夾持基體通過球頭結(jié)構(gòu)設(shè)置。
8、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,在所述端面夾頭中,所述硅棒頂壓件包括設(shè)于所述夾持基體的硅棒頂壓彈性件,所述邊皮頂壓件包括設(shè)于所述夾持基體的邊皮頂壓彈性件,所述邊皮夾緊加強(qiáng)件包括受控相對(duì)所述夾持基體進(jìn)退的伸縮頂桿或伸縮頂塊。
9、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述端面夾頭包括:第一夾持基體,設(shè)有硅棒頂壓件;第二夾持基體,設(shè)有邊皮頂壓件和相對(duì)所述第二夾持基體沿夾持方向進(jìn)退的邊皮夾緊加強(qiáng)件。
10、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,在所述端面夾頭中,所述硅棒頂壓件包括設(shè)于所述第一夾持基體的硅棒頂壓螺釘,所述邊皮頂壓件包括設(shè)于所述第二夾持基體的邊皮頂壓螺釘,所述邊皮夾緊加強(qiáng)件包括受控相對(duì)所述第二夾持基體進(jìn)退的伸縮頂桿或伸縮頂塊。
11、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,在所述端面夾頭中,所述硅棒頂壓件包括設(shè)于所述第一夾持基體的硅棒頂壓彈性件,所述邊皮頂壓件包括設(shè)于所述第二夾持基體的邊皮頂壓彈性件,所述邊皮夾緊加強(qiáng)件包括受控相對(duì)所述第二夾持基體進(jìn)退的伸縮頂桿或伸縮頂塊。
12、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾頭驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:夾頭移動(dòng)導(dǎo)軌,沿夾持方向布設(shè);夾頭驅(qū)動(dòng)單元,用于驅(qū)動(dòng)所述至少一對(duì)端面夾頭中的至少一端面夾頭沿夾頭移動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。
13、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾頭驅(qū)動(dòng)單元包括:至少一夾頭伸縮組件,所述夾頭伸縮組件包括:夾頭伸縮桿和夾頭伸縮氣缸,所述夾頭伸縮桿沿夾持方向布設(shè)且與相應(yīng)的一端面夾頭關(guān)聯(lián),所述夾頭伸縮氣缸與所述夾頭伸縮桿關(guān)聯(lián)。
14、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾頭驅(qū)動(dòng)單元包括:至少一對(duì)夾緊齒條,沿夾持方向布設(shè)且分別與至少一對(duì)端面夾頭關(guān)聯(lián);夾緊齒輪,與所述一對(duì)夾緊齒條嚙合;齒輪驅(qū)動(dòng)源,與所述夾緊齒輪關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)所述夾緊齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)以使嚙合的至少一對(duì)夾緊齒條帶動(dòng)關(guān)聯(lián)的至少一對(duì)端面夾頭沿夾持方向相向移動(dòng)或相背移動(dòng)。
15、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾頭驅(qū)動(dòng)單元包括:至少一夾頭夾緊組件,所述夾頭夾緊組件包括:夾緊絲桿和絲桿驅(qū)動(dòng)源,所述夾緊絲桿沿夾持方向布設(shè)且與相應(yīng)的一端面夾頭關(guān)聯(lián),所述絲桿驅(qū)動(dòng)源與所述夾緊絲桿關(guān)聯(lián)。
16、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾頭驅(qū)動(dòng)單元包括:雙向絲桿,沿夾持方向布設(shè)且分別與至少一對(duì)端面夾頭關(guān)聯(lián);絲桿驅(qū)動(dòng)源,與所述雙向絲桿關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)所述雙向絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)以使關(guān)聯(lián)的至少一對(duì)端面夾頭沿夾持方向相向移動(dòng)或相背移動(dòng)。
17、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮夾具進(jìn)退機(jī)構(gòu)包括:夾具進(jìn)退導(dǎo)軌,沿進(jìn)退方向布設(shè);邊皮夾具進(jìn)退單元,用于驅(qū)動(dòng)所述邊皮夾具沿所述夾具進(jìn)退導(dǎo)軌移動(dòng)。
18、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮夾具進(jìn)退單元包括:夾座伸縮桿和夾座伸縮氣缸,所述夾座伸縮桿沿進(jìn)退方向布設(shè)且與所述邊皮夾具的夾座關(guān)聯(lián),所述夾座伸縮氣缸與所述夾座伸縮桿關(guān)聯(lián)。
19、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮夾具進(jìn)退單元包括:夾座齒條,沿進(jìn)退方向布設(shè)且與所述邊皮夾具的夾座關(guān)聯(lián);夾座齒輪,與所述夾座齒條嚙合;齒輪驅(qū)動(dòng)源,與所述夾座齒輪關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)所述夾座齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)以使嚙合的邊皮夾具沿進(jìn)退方向移動(dòng)。
20、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮夾具進(jìn)退單元包括:退出絲桿和絲桿驅(qū)動(dòng)源,所述退出絲桿沿進(jìn)退方向布設(shè)且與所述邊皮夾具的夾座關(guān)聯(lián),所述絲桿驅(qū)動(dòng)源與所述退出絲桿關(guān)聯(lián)。
21、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮防崩邊裝置還包括夾具升降機(jī)構(gòu),包括:夾具升降導(dǎo)軌,沿垂向布設(shè);夾具升降單元,用于驅(qū)動(dòng)所述邊皮夾具沿所述夾具升降導(dǎo)軌作升降移動(dòng)。
22、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾具升降單元包括:升降齒條,沿垂向布設(shè)且與所述邊皮夾具的夾座關(guān)聯(lián);升降齒輪,與所述升降齒條嚙合;齒輪驅(qū)動(dòng)源,與所述升降齒輪關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)所述升降齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)以使嚙合的邊皮夾具沿垂向作升降移動(dòng)。
23、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊夾具升降單元包括:升降絲桿和絲桿驅(qū)動(dòng)源,所述升降絲桿沿垂向布設(shè)且與所述邊皮夾具的夾座關(guān)聯(lián),所述絲桿驅(qū)動(dòng)源與所述升降絲桿關(guān)聯(lián)。
24、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮防崩邊裝置還包括邊皮下料輸送機(jī)構(gòu),與所述邊皮夾具進(jìn)退機(jī)構(gòu)銜接。
25、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮下料輸送機(jī)構(gòu)包括邊皮承載結(jié)構(gòu)和輸送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。
26、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述輸送驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括鏈條輸送機(jī)構(gòu)或傳動(dòng)帶機(jī)構(gòu)。
27、本技術(shù)中的邊皮防崩邊裝置,能在硅棒進(jìn)行開方切割作業(yè)過程中,利用邊皮防崩邊裝置中的硅棒頂壓件和邊皮頂壓件,同時(shí)頂壓于硅棒主體和邊皮,給予硅棒和要切割的邊皮以足夠的支撐,確保硅棒主體和邊皮之間保持相對(duì)穩(wěn)定,能避免線切割單元中的切割線鋸穿出硅棒以完全切除時(shí)發(fā)生邊皮掉落或邊皮與硅棒主體發(fā)生偏移而導(dǎo)致崩邊等現(xiàn)象。此外,在邊皮被切割下來之后,利用邊皮夾緊加強(qiáng)件和邊皮夾具進(jìn)退機(jī)構(gòu),可將邊皮沿進(jìn)退方向退出以帶動(dòng)被夾持的邊皮與硅棒主體脫離,并可順序地實(shí)施下料,避免邊皮發(fā)生掉落或傾覆等風(fēng)險(xiǎn),確保了硅棒的切割質(zhì)量和邊皮的再利用。
28、本技術(shù)在另一方面公開一種臥式硅棒開方機(jī),其特征在于,包括:機(jī)座,具有硅棒加工平臺(tái);所述硅棒加工平臺(tái)設(shè)有多個(gè)加工工位,每一個(gè)加工工位包括裝卸區(qū)位和切割區(qū)位;每一個(gè)加工工位上配置有硅棒轉(zhuǎn)移裝置、邊皮防崩邊裝置、以及硅棒切割裝置;其中,所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置用于攜帶硅棒沿轉(zhuǎn)移方向在加工工位的裝卸區(qū)位和切割區(qū)位之間轉(zhuǎn)移;所述硅棒呈臥式置于所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置上且所述硅棒的軸心線與轉(zhuǎn)移方向一致;所述硅棒切割裝置設(shè)于所述加工工位的切割區(qū)位,所述硅棒切割裝置包括至少一線切割單元,所述線切割單元具有至少一切割線鋸,所述至少一切割線鋸沿垂向或與垂向呈一偏角布設(shè);其中,在開方切割作業(yè)中,利用所述邊皮防崩邊裝置夾緊硅棒,通過所述線切割單元與相應(yīng)的所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置沿轉(zhuǎn)移方向作相對(duì)移動(dòng),由所述至少一切割線鋸對(duì)所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置所攜帶硅棒進(jìn)行開方切割作業(yè),使得所述硅棒的截面由呈圓形經(jīng)開方切割作業(yè)后呈類矩形。
29、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置包括:轉(zhuǎn)移通道,沿轉(zhuǎn)移方向設(shè)置;承載平臺(tái),用于承載硅棒;轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述承載平臺(tái)及其承載的硅棒沿轉(zhuǎn)移方向在所述轉(zhuǎn)移通道上移動(dòng)。
30、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮防崩邊裝置的夾緊支座與所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置的承載平臺(tái)關(guān)聯(lián)。
31、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述承載平臺(tái)包括沿轉(zhuǎn)移方向間隔設(shè)置的至少兩承載件。
32、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述承載件包括:承載支架;第一承載結(jié)構(gòu),用于承載硅棒且與硅棒的弧面接觸;第二承載結(jié)構(gòu),用于承載硅棒且與硅棒的切割面接觸。
33、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述承載件包括y型承載結(jié)構(gòu)。
34、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述承載平臺(tái)包括承載件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述承載件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:承載件移動(dòng)導(dǎo)軌,沿轉(zhuǎn)移方向布設(shè);承載件驅(qū)動(dòng)單元,用于驅(qū)動(dòng)至少一承載件沿所述承載件移動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。
35、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括:平臺(tái)轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌,沿轉(zhuǎn)移方向布設(shè);轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)單元,用于驅(qū)動(dòng)所述承載平臺(tái)沿所述平臺(tái)轉(zhuǎn)移導(dǎo)軌移動(dòng)。
36、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒轉(zhuǎn)移裝置包括:轉(zhuǎn)移通道,沿轉(zhuǎn)移方向設(shè)置;硅棒夾具,用于夾持硅棒的兩端面;轉(zhuǎn)移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述硅棒夾具及其夾持的硅棒沿轉(zhuǎn)移方向在所述轉(zhuǎn)移通道上移動(dòng)。
37、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒夾具包括:夾臂安裝座,設(shè)于所述轉(zhuǎn)移通道上;至少一對(duì)夾臂,沿轉(zhuǎn)移方向?qū)ο蛟O(shè)于所述夾臂安裝座上,用于夾持硅棒的兩個(gè)端面;夾臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)至少一對(duì)夾臂中的至少一個(gè)夾臂沿轉(zhuǎn)移方向移動(dòng)。
38、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒夾具包括:至少一對(duì)夾臂,沿轉(zhuǎn)移方向?qū)ο蛟O(shè)于所述轉(zhuǎn)移通道上;夾臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)至少一對(duì)夾臂中的至少一個(gè)夾臂沿轉(zhuǎn)移方向移動(dòng)。
39、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾臂為旋轉(zhuǎn)式結(jié)構(gòu);所述硅棒夾具還包括夾臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述夾臂轉(zhuǎn)動(dòng)。
40、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒切割裝置中的線切割單元包括:切割安裝結(jié)構(gòu)、設(shè)于所述切割安裝結(jié)構(gòu)上的多個(gè)切割輪和切割線,所述切割線依序繞設(shè)于所述多個(gè)切割輪形成至少一切割線鋸。
41、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述切割線以首尾相接的環(huán)形繞線方式繞于各個(gè)切割輪之間。
42、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述線切割單元還包括至少一過渡輪以及與所述至少一過渡輪關(guān)聯(lián)的張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
43、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒切割裝置還包括:至少一調(diào)距機(jī)構(gòu),設(shè)于所述至少一線切割單元,用于驅(qū)動(dòng)所述線切割單元中的切割輪沿垂直于切割輪輪面的方向移動(dòng)。
44、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述臥式硅棒開方機(jī)還包括:硅棒裝卸裝置,用于將待切割的硅棒裝載至相應(yīng)加工工位的裝卸區(qū)位上以及將已切割的硅棒自相應(yīng)加工工位的裝卸區(qū)位予以卸載。
45、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒裝卸裝置包括:硅棒安裝架,沿?fù)Q位方向跨設(shè)于所述機(jī)座;硅棒夾具,用于夾持硅棒的兩個(gè)端面;夾具換位機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述硅棒夾具沿?fù)Q位方向在所述硅棒安裝架上移動(dòng)。
46、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒夾具包括:夾具安裝架;硅棒夾持件,設(shè)于所述夾具安裝架上。
47、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒夾持件包括:夾臂安裝座,設(shè)于所述夾具安裝架上;至少一對(duì)夾臂,沿轉(zhuǎn)移方向?qū)ο蛟O(shè)于所述夾臂安裝座上;夾臂驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述至少一對(duì)夾臂中的至少一個(gè)夾臂沿轉(zhuǎn)移方向移動(dòng)以調(diào)節(jié)所述至少一對(duì)夾臂之間的夾持間距。
48、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述至少一對(duì)夾臂包括轉(zhuǎn)動(dòng)式結(jié)構(gòu);所述硅棒夾具還包括夾臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述夾臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)于所述至少一對(duì)夾臂中的至少一個(gè)夾臂上,用于驅(qū)動(dòng)所述至少一個(gè)夾臂的夾持部轉(zhuǎn)動(dòng)。
49、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,在所述硅棒夾具中,所述硅棒夾持件通過夾具升降機(jī)構(gòu)相對(duì)所述夾具安裝架作升降移動(dòng)。
50、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述夾具換位機(jī)構(gòu)包括:夾具換位導(dǎo)軌,沿?fù)Q位方向設(shè)于所述硅棒安裝架;所述換位方向與所述轉(zhuǎn)移方向垂直并構(gòu)成一水平面;夾具換位驅(qū)動(dòng)單元,與所述硅棒夾具關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)關(guān)聯(lián)的所述硅棒夾具沿所述夾具換位導(dǎo)軌移動(dòng)以在多個(gè)加工工位之間換位。
51、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述硅棒裝卸裝置還包括對(duì)中調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),用于調(diào)節(jié)待切割的硅棒的位置以使得所述待切割的硅棒的軸心線與預(yù)定中心線對(duì)應(yīng)。
52、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述臥式硅棒開方機(jī)還包括邊皮卸載裝置,包括:邊皮安裝架,沿?fù)Q位方向跨設(shè)于所述機(jī)座;邊皮吸附件,用于吸附邊皮;吸附件換位機(jī)構(gòu),用于驅(qū)動(dòng)所述吸附件沿?fù)Q位方向在所述邊皮安裝架上移動(dòng)。
53、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述邊皮吸附件通過吸附件升降機(jī)構(gòu)相對(duì)所述邊皮安裝架作升降移動(dòng)。
54、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述吸附件換位機(jī)構(gòu)包括:吸附件換位導(dǎo)軌,沿?fù)Q位方向設(shè)于所述邊皮安裝架;所述換位方向與所述轉(zhuǎn)移方向垂直并構(gòu)成一水平面;吸附件換位驅(qū)動(dòng)單元,與所述邊皮吸附件關(guān)聯(lián),用于驅(qū)動(dòng)關(guān)聯(lián)的所述邊皮吸附件沿所述吸附件換位導(dǎo)軌移動(dòng)。
55、本技術(shù)的某些實(shí)施方式中,所述臥式硅棒開方機(jī)還包括晶線檢測(cè)裝置,所述晶線檢測(cè)裝置包括:間距設(shè)置的至少兩支承結(jié)構(gòu),所述支承結(jié)構(gòu)具有沿轉(zhuǎn)移方向設(shè)置、用于支承待切割的硅棒的支承滾輪組;滾輪驅(qū)動(dòng)源,用于驅(qū)動(dòng)所述支承滾輪組中各個(gè)支承滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)以帶動(dòng)待切割的硅棒轉(zhuǎn)動(dòng)。
56、本技術(shù)公開的臥式硅棒開方機(jī),布設(shè)有多個(gè)加工工位和與多個(gè)加工工位一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)硅棒切割裝置和多個(gè)硅棒轉(zhuǎn)移裝置,可使得多個(gè)硅棒切割裝置能同時(shí)對(duì)相應(yīng)加工工位處硅棒轉(zhuǎn)移裝置所攜帶的硅棒進(jìn)行硅棒開方切割作業(yè),大大提升了硅棒的切割效率,同時(shí),臥式硅棒開方機(jī)具有整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)備擴(kuò)展性強(qiáng)、節(jié)省占用空間等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí),所述臥式硅棒開方機(jī)配置有邊皮防崩邊裝置,能在硅棒進(jìn)行開方切割作業(yè)過程中,利用邊皮防崩邊裝置中的硅棒頂壓件和邊皮頂壓件,同時(shí)頂壓于硅棒主體和邊皮,給予硅棒和要切割的邊皮以足夠的支撐,確保硅棒主體和邊皮之間保持相對(duì)穩(wěn)定,可避免線切割單元中的切割線鋸穿出硅棒以完全切除時(shí)發(fā)生邊皮掉落或邊皮與硅棒主體發(fā)生偏移而導(dǎo)致崩邊等現(xiàn)象。