24被散布于元件基板58上時，靜電力作用于間隔維持部件24。間隔維持部件24在與第一電極59之間作用有引力，在與第二電極60之間作用有斥力。由此，間隔維持部件24移動至第一電極59上并靜止。從而，能夠使間隔維持部件24配置在與壓電體層43分離的第一電極59上。
[0136]如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。
[0137](I)根據本實施方式，間隔維持部件24維持著攜帶有靜電的狀態而靜止于第一電極59上。從而，能夠使間隔維持部件24容易地配置于第一電極59上。并且，由于間隔維持部件24集結于第一電極59上，因此能夠使間隔維持部件24不對超聲波的發送和接收造成影響。其結果，超聲波器件57能夠高效地收發超聲波。
[0138](第3實施方式)
[0139]接著，對超聲波探測器的一種實施方式，使用圖13的(a)以及圖13的(b)的表示超聲波探測器的結構的側面示意圖來進行說明。本實施方式與第I實施方式的不同之處在于，超聲波探測器可分離為主體部和超聲波探頭這一點。此外，對于與第I實施方式的相同點，將省略說明。
[0140]如圖13的(a)所示，超聲波探測器63具備探測器主體64以及探頭65。探測器主體64具備主體用框體66，在主體用框體66的內部設置有處理電路26。處理電路26經由電纜4而與裝置主體2連接。在主體用框體66設置有第一連接器67，第一連接器67與處理電路26連接。
[0141 ] 探頭65具備作為框體的頭部用框體68，頭部用框體68中內置有超聲波器件9。超聲波器件9的聲透鏡16從頭部用框體68露出。在頭部用框體68上設置有與第一連接器67連接的第二連接器69，處理電路26與超聲波器件9通過第一連接器67和第二連接器69電連接。
[0142]如圖13的(b)所示，探測器主體64與探頭65可分離。第一連接器67和第二連接器69可以進行切斷和連接。準備有多個超聲波器件9收發的超聲波的頻率不同的探頭65。因此，將符合被檢體的特性或被檢體的檢查位置的深度的合適的的探頭65連接于探測器主體64變為可能。
[0143]如上所述，根據本實施方式，具有以下的效果。
[0144](I)根據本實施方式，探頭65具備超聲波器件9和支撐該超聲波器件9的頭部用框體68。超聲波探測器63具備恰當地維持聲匹配部15的厚度，進而高效地進行超聲波的收發的超聲波器件9。從而，能夠提供高效地進行超聲波的收發的超聲波探測器63。
[0145](2)根據本實施方式，超聲波探測器63能夠更換探頭65。從而，能夠更換為符合被檢體的聲阻抗或檢查位置的合適的超聲波器件9。
[0146](第4實施方式)
[0147]接著，使用圖14的表示超聲波圖像裝置的結構的簡要立體圖對超聲波圖像裝置的一種實施方式進行說明。本實施方式的超聲波圖像裝置設置有第I實施方式的超聲波探測器。此外，對于與第I實施方式的相同點，將省略說明。
[0148]如圖14所示，超聲波圖像裝置72是固定式的超聲波圖像裝置。超聲波圖像裝置72具有裝置主體73 (電子設備主體)、使顯示用圖像數據顯示的顯示部74、UI部(用戶界面部)、超聲波探測器76、電纜77。超聲波圖像裝置72能夠利用于生物體的脂肪厚度、肌肉厚度、血流、骨密度等的測定。超聲波圖像裝置72所具備的超聲波器件9高效地收發超聲波。從而，超聲波圖像裝置72可以說是具備高效地收發超聲波的超聲波器件9的裝置。
[0149]本發明本非限于以上說明的實施方式，本發明實施時的具體的構造以及步驟在能夠達到本發明的目的的范圍內，能夠適當變更為其他構造等。而且，多種變形在本發明的技術思想內，可以由在該領域中具有常識的技術人員進行。以下，將說明變形例。
[0150](變形例I)
[0151]在所述第I實施方式中，間隔維持部件24為球體狀，但間隔維持部件24的形狀不限于此。可以采用旋轉橢圓體、立方體、長方體、多面體的各種形狀。間隔維持部件24的形狀可以采用易于制造的形狀。
[0152](變形例2)
[0153]在所述第I實施方式中，在步驟S3的間隔維持部設置工序中，使間隔維持部件24攜帶+極性電荷。也可以使間隔維持部件24攜帶一極性電荷。此時，使第一電極42攜帶+極性電荷并使第二電極44攜帶一極性電荷。由此，能夠將間隔維持部件24向第一電極42引導。
[0154]在所述第2實施方式中，在步驟S3的間隔維持部設置工序中，使間隔維持部件24攜帶+極性電荷。也可以使間隔維持部件24攜帶一極性電荷。此時，使第一電極59攜帶+極性電荷并使第二電極60攜帶一極性電荷。由此，能夠將間隔維持部件24向第一電極59引導。
[0155](變形例3)
[0156]在所述第I實施方式中，在步驟S3的間隔維持部設置工序中，使第二電極44攜帶+極性電荷。即使不使第二電極44帶電間隔維持部件24也被向第一電極42引導時，也可以不使第二電極44帶電。能夠減少使第二電極44帶電的配線。
[0157]在所述第2實施方式中，在步驟S3的間隔維持部設置工序中，使第二電極60攜帶+極性電荷。即使不使第二電極60帶電隔維持部件24也被向第一電極59引導時，也可以不使第二電極60帶電。能夠減少使第二電極60帶電的配線。
[0158](變形例4)
[0159]在所述第I實施方式中，使多個間隔維持部件24配置在被框體17夾住的部位的超聲波元件陣列基板14與聲透鏡16之間。聲透鏡16難以變形時，也可以不用特別地使多個間隔維持部件24配置在被框體17夾住的部位。而且，也可以去除第一模擬電極46以及第二模擬電極47。電極數少的情況下，能夠使元件基板18變得易于制造。
[0160](變形例5)
[0161]在所述第I實施方式中，超聲波元件36進行超聲波的發送和接收這兩者。也可以將進行超聲波的發送的元件和進行超聲波的接收的元件作為各自不同的元件。并且，也可以配置進行超聲波的發送的元件、進行超聲波的接收的元件、以及進行超聲波的發送和接收的元件。也可以根據進行超聲波的收發的精度的要求進行組合。
[0162](變形例6)
[0163]在所述第I實施方式中，壓電體層43是采用光刻法而形成的薄膜。壓電體層43也可以是具有厚度的塊型。此時，由于間隔維持部件24也將聲匹配部15的厚度維持為一定，因此即使聲透鏡16被按壓，也能夠使聲透鏡16變得難以變形。
[0164](變形例7)
[0165]在所述第I實施方式中，在步驟S6的聲匹配部件注入工序中，從第一側孔17c以及第三側孔17e注入聲匹配部件53。并不局限于此，也可以從第二側孔17d以及第四側孔17f吸引而將聲匹配部件53填充于聲透鏡16與元件基板18之間。并且，也可以同時進行聲匹配部件53從第一側孔17c以及第三側孔17e的注入和從第二側孔17d以及第四側孔17f的吸引。由于能夠在短時間內填充，因此能夠高生產率地制造超聲波器件9。
【主權項】
1.一種超聲波器件,其特征在于,具備: 超聲波元件陣列基板，具有進行超聲波的發送以及接收中的至少一方的多個超聲波元件; 聲透鏡，使所述超聲波匯聚； 聲匹配部，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，由樹脂形成；以及多個球狀的間隔維持部件，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，并與所述超聲波元件陣列基板和所述聲透鏡接觸。
2.根據權利要求1所述的超聲波器件，其特征在于， 在從所述超聲波元件陣列基板的厚度方向觀察到的俯視觀察中，所述球狀的間隔維持部件以包圍所述超聲波元件的方式配置。
3.根據權利要求1或2所述的超聲波器件，其特征在于， 在所述超聲波元件陣列基板上設置有電極和使所述電極絕緣的絕緣膜， 所述間隔維持部件位于所述電極上。
4.根據權利要求1至3中任一項所述的超聲波器件，其特征在于， 所述超聲波元件陣列基板具備設置有所述超聲波元件的基板， 所述超聲波元件距離基板表面的高度比所述電極距離所述基板表面的高度高。
5.根據權利要求1至4中任一項所述的超聲波器件，其特征在于， 還具備固定框，所述固定框夾住并固定所述超聲波元件陣列基板和所述聲透鏡， 在從所述超聲波元件陣列基板的厚度方向觀察到的俯視觀察中，所述間隔維持部件配置在被所述固定框夾住的部位的所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間。
6.一種超聲波探頭，其特征在于，具備: 權利要求1至5中任一項所述的超聲波器件；以及 框體，支撐所述超聲波器件。
7.一種超聲波探測器，其特征在于，具備: 權利要求1至5中任一項所述的超聲波器件；以及 驅動電路，驅動所述超聲波器件。
8.—種電子設備,其特征在于,具備: 權利要求1至5中任一項所述的超聲波器件；以及 處理部，與所述超聲波器件連接，使用所述超聲波器件的輸出來生成圖像。
9.一種超聲波圖像裝置，其特征在于，具備: 權利要求1至5中任一項所述的超聲波器件； 處理部，與所述超聲波器件連接，進行使用所述超聲波器件的輸出來生成圖像的處理；以及 顯示部，顯示所述圖像。
10.一種超聲波器件的制造方法，其特征在于， 向設置于超聲波兀件陣列基板的電極施加第一極性的電壓， 使帶電為與所述第一極性不同的第二極性的球狀的多個間隔維持部件散布在所述超聲波元件陣列基板上， 在所述間隔維持部件上重疊設置聲透鏡， 在所述超聲波元件陣列基板上設置含有樹脂的聲匹配部的材料， 固化所述聲匹配部的材料。
11.根據權利要求10所述的超聲波器件的制造方法，其特征在于， 在所述超聲波元件陣列基板上設置超聲波元件，所述超聲波元件在與所述超聲波元件陣列基板相反一側的表面具備上側電極， 在散布多個所述間隔維持部件之前，向所述上側電極施加第一極性的電壓。
12.根據權利要求10或11所述的超聲波器件的制造方法，其特征在于， 在設置所述聲匹配部的材料之前，將所述間隔維持部件固定于所述超聲波元件陣列基板。
13.根據權利要求10至12中任一項所述的超聲波器件的制造方法，其特征在于， 在將所述間隔維持部件散布于所述超聲波元件陣列基板并設置所述聲透鏡之后，在所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間使所述聲匹配部的材料流動而設置所述聲匹配部。
【專利摘要】本發明涉及超聲波器件、超聲波探頭、超聲波探測器及電子設備。該超聲波器件的特征在于，具備：超聲波元件陣列基板，具有進行超聲波的發送以及接收中的至少一方的多個超聲波元件；聲透鏡，使所述超聲波匯聚；聲匹配部，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，由樹脂形成；以及多個球狀的間隔維持部件，配置于所述超聲波元件陣列基板與所述聲透鏡之間，并與所述超聲波元件陣列基板和所述聲透鏡接觸。
【IPC分類】A61B8-00
【公開號】CN104545993
【申請號】CN201410538779
【發明人】中西大介, 吉田一輝, 大西康憲
【申請人】精工愛普生株式會社
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年10月13日
【公告號】US20150112201