技術編號：9863895
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及在半導體集成電路等的通電測試中使用的接觸檢查裝置。背景技術通常，對諸如半導體集成電路等的測試對象執行通電測試，以確定測試對象是否是按照精確的規格制造的。使用諸如探針卡、探針單元和探針塊等的接觸檢查裝置來執行該通電測試，該接觸檢查裝置具有單獨壓靠測試對象的待檢查部分的多個接觸部。這種類型的接觸檢查裝置用于使測試對象的待檢查部分與測試器電連接，以便執行檢查。作為這種類型的接觸檢查裝置，專利文獻I公開了一種接觸檢查裝置，該接觸檢查裝置包括探針基板，其具...
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