技術編號:9845582
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 已知的是具有阻擋材料和聚合物材料的交替層的多層薄膜阻擋組合物。通常通過 沉積(例如通過氣相沉積)阻擋材料和聚合物材料的交替層而形成這些組合物。如果聚合物 層沉積在基底的整個表面上,那么聚合物層的邊緣被暴露于氧、濕氣和其它污染物。這潛在 地允許濕氣、氧或其它污染物從組合物的邊緣從側面擴散到包封好的環境敏感器件中,如 圖1所示。多層薄膜阻擋組合物100包括基底105及去耦材料110和阻擋材料115的交替層。圖 1的比例在豎直方向上被極大地擴大了。基底105的...
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