技術編號:9842083
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 隨著機床領域對定位精度要求的不斷提高,光柵尺的應用越來越廣泛,其基本原 理是利用了兩光柵尺形成的莫爾條紋。光源的性能的好壞直接影響著莫爾條紋的對比度。 目前沒有關于測量光柵尺的光源平行性的專用設備相關資料,常規的平行性測量方法利用 測量光斑尺寸來實現,精度較低,不適合于光柵尺光源平行性的精確測量。發明內容 本發明為了解決現有技術無法實現光源平行性的精確測量問題,提出一種精確測 量光源平行性的方法及裝置。 -種精確測量光源平行性的裝置,其包括標準光柵2、光...
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