技術編號：9841516
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前半導體工廠的二次配管大宗氣體管路的泄漏檢測及壓力波動測量，一般使用指針式壓力表進行12小時連續檢測壓力，檢測結果依靠目測，無法對細微的壓力泄漏進行判斷，經常無法通過科學的測量來解決相關問題。由于半導體工廠對安全和環境的要求高，氣體配管不能有任何的泄漏，業界普遍采用的HE檢漏儀檢查泄漏率，價格高且一般使用于特氣管路，性價比低。同時，在半導體工廠內無法精確到對單臺設備進行壓力波動檢測(目前只監測系統壓力)，經常無法通過科學的測量來解決相關問題，當出現單臺設...
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