技術編號：9836385
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。已知一種電子裝置，其具有使用半導體制造工藝而形成的空洞部(例如，參照專利文獻I)。作為這種電子裝置的一個示例，例如可列舉出專利文獻I所涉及的MEMS(Micrc)Electro Mechanical System微機電系統)元件，該MEMS元件具有基板、被形成在基板的主面上的諧振子、被形成在基板的主面上并形成對諧振子進行收納的空間的空間壁部。此外，專利文獻I所涉及的MEMS元件的基板的一部分被形成為薄壁而作為隔膜發揮功能。而且，根據伴隨著由受壓引起的隔膜的...
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