技術編號：9766935
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。超級結為由形成于半導體襯底中的交替排列的P型薄層和N型薄層組成，現有超級結的制造方法中包括采用溝槽外延填充形成的方法以及采用多次外延加離子注入的形成方法。多次外延加離子注入方法形成的超級結成本較高，工藝時間長。而采用溝槽外延填充形成的方法則成本相對低，生產效率高，在現有工藝中大多采用溝槽外延填充形成的方法形成超級結，由于這種方法是通過溝槽工藝制作超級結，故將形成的超級結稱為溝槽型超級結。如圖1所示，是現有溝槽型超級結的制造方法形成的超級結的結構示意圖；現有...
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