技術編號：9760444
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。現今在半導體行業內，利用潔凈機器手傳輸晶圓片體類產品的做法非常廣泛，作為機器手執行機構的末端執行器則用量更為龐大。而現在使用的末端執行器多為較薄的陶瓷、金屬等板材制造。由于板材自有的特性，其在受到應力時各方向的表現并不一致，按照手指的形狀區分方向，在一定條件下，手指長方向與寬方向具有良好的耐沖擊和耐壓性，但厚度方向在耐沖擊和耐壓性方面卻較為薄弱。撞碎末端執行器的力也是沖擊力與壓力共同作用的結果。而且末端執行器本身成本并不低廉，一旦在生產時發生問題，會對整個...
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