技術編號：9725968
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種傳感器芯片及其制作方法，特別是涉及一種MEMS多晶硅納米膜壓力傳感器芯片及其制作方法。背景技術MEMS(微機電系統)壓力傳感器是利用半導體材料的壓阻效應和良好的彈性，用集成電路工藝和微機械加工技術制備的傳感器。具有體積小和靈敏度高的優點，是應用最為廣泛的傳感器之一。MEMS壓力傳感器主要分為電容式和壓阻式，電容式由于工藝復雜，工藝穩定性要求高，因此，全球90%以上MEMS壓力傳感器都為硅壓阻式。硅壓阻式壓力傳感器按加工工藝分為體硅微機械和面微...
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