技術編號：9692989
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 近年來，開發有具有利用被稱為MEMS(Mic;ro Electro Mechanical Systems微電 子機械系統）的半導體制造技術而形成的精細的機械元素的裝置，實現為檢測被測定體的 角速度的巧螺傳感器、加速度傳感器。 例如，上述巧螺傳感器包括在沿X-Y方向延伸的基板上W可在X方向上振動的方式 被支承的振動驅動模塊、與該振動驅動模塊相連接的移動體及W可在Y方向上彈性位移的 方式被該移動體所支承并檢測Y方向的位移量的靜電電容變化檢測模塊等。 上述巧螺...
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