技術編號：9686050
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明涉及傳感器領域，尤其涉及一種加速度敏感芯片，該敏感芯片的制造工藝 W及帶有該敏感芯片的加速度計。背景技術 現今，加速度計可適用于諸多應用，例如在測量地震的強度并收集數據、檢測汽車 碰撞時的撞擊強度、W及在手機及游戲機中檢測出傾斜的角度和方向。而在微電子機械系 統（MEM巧技術不斷進步的情況下，許多納米級的小型加速度測量儀已經被商業化廣泛采 用。 現今的加速度敏感芯片分為兩種，一種為平板式的，例如公開號為CN102768290A 的中國發明專利，平板...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。