技術編號：9649894
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 作為形成半導體集成電路等的微細圖案的方法，除了微影法以外，還已知納米壓 印法。納米壓印法是通過使用模具（模）和基板夾住樹脂而能夠轉印納米級的圖案的技術， 根據使用材料研究了熱納米壓印法、光納米壓印法等。其中，光納米壓印法包含i)樹脂層 的涂布、ii)使用模具壓制、iii)光固化和iv)脫模四個工序，在能夠使用此種簡單的工藝 實現納米尺寸的加工方面是優異的。特別是，因為樹脂層使用通過光照射而固化的光固化 性樹脂，所以在圖案轉印工序所需要的時間短，能夠期待高...
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