技術編號：9639236
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著技術的不斷發展，現在對工件表面質量要求越來越高。加工尺寸精度可達10nm，表面粗糙度達lnm。超精密加工對加工設備、工件材質、測量環境等都有特殊的要求，需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服系統、計算機控制以及其他先進技術。對于現有的非接觸拋光加工方法，只具有普通的拋光加工的作用，比如浮法拋光，彈性發射加工，都不具備檢測相關參數的檢測方法，所以對于拋光過程中的工況沒有反饋，加工過程中拋光盤和拋光容器底部的加工間隙就不可知，對于加工條件、相關工況參數以...
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