技術編號：9630045
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 顯微干涉測量法是表面微形貌測量的重要方法之一，將多波長干涉技術引入到干 涉測量中能有效彌補單波長干涉測量范圍小的不足。多波長測量方法的實質就是利用多波 長測量結果的差異求出干涉級次，從而得到被測點的真實深度，達到擴展深度測量范圍的 目的。多波長干涉測量不但能擴大深度測量范圍，而且利用多波長測量結果校正單波長的 測量結果可以減小由于測量范圍擴大導致的放大測量誤差。 多波長干涉法常需要利用相移法使干涉條紋產生相對變形，然后通過測量干涉條 紋的相對變形來間接完...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。