技術編號：9620384
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在柔性基板上沉積薄層是用于許多應用的生產工藝。在柔性基板涂覆裝置的一個或多個腔室中涂覆柔性基板。柔性基板(諸如，由塑料或預先涂覆的紙制成的箔)在輥(roller)或滾筒上被引導，并且以此方式傳遞沉積材料源。經涂覆的基板的可能應用的范圍從提供用于包裝行業的經涂覆的箔到沉積用于柔性電子器件和高級技術應用(諸如，智能電話、平面屏幕TV和太陽能面板)的薄膜。不同的沉積工藝可以用于實現具有所需性質的層。例如，在熱蒸發工藝中，使薄鋁層金屬化到柔性基板上。以此類方式涂覆...
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