技術編號：9599192
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著半導體工藝進入超大規模集成化(ULSI)時代，芯片上晶體管的幾何尺寸被不斷縮小以致接近物理極限。更小的器件提高了芯片的集成度，用以滿足日益復雜的電路功能需求。但是隨著線寬的減小，晶體管電學參數對幾何尺寸的敏感性越來越高。一些在長溝道器件中可以忽略的邊緣效應成為了影響電學參數波動的主要因素。閾值電壓(Threshold Voltage)作為晶體管最重要的電學參數之一，一直被用來對其電學性能進行表征。電路的速度，噪聲容限都需要對閾值電壓做出精確的預測。由于...
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