技術編號：9595759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微電子機械系統)是利用集成電路制造技術和微加工技術把微結構、微傳感器、微執行器、控制處理電路甚至接口、通信和電源等制造在一塊或多塊芯片上的微型集成系統。壓力傳感器是將壓力信號轉換為電學信號的換能器，是商業化的傳感器中的重要組成部分。與傳統壓力傳感器相比，采用MEMS技術制備的壓力傳感器在體積、功耗、重量以及價格等方面有十分明顯的優勢。目前，利用MEMS技術制作的壓力傳感器已廣泛用于...
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