技術編號：9592429
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在PVD (Physical Vapor Deposit1n，物理氣相沉積)領域中，隨著革El材利用率提升，金屬純鋁進程1的上線以及異型靶的改進，不但運營成本大幅降低，也使得保養周期大幅地延長，間接地提升設備嫁動率和產出。目前，處理室或者反應室中的零件壽命未能夠匹配如此長的保養周期。例如，純鋁上線的處理室會將兩個A1靶用完才進行保養，因此托盤上的接觸面板(Touch Plate)必須承受兩個A1革E—共10000kw/hr的轟擊。現有技術的接觸面板無法承受...
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