技術編號：95735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明屬于質譜分析儀器。以射頻輝光放電等離子體為離子源的質譜分析儀器中，離子源產生的光輻射以及其它中性粒子對質譜計檢測有極大的干擾。但以往對這些干擾采取的抑制措施不甚有效。例如，采用90℃同軸徑向偏轉型靜電能量分析器只能使光輻射的本底電流下降三個數量級，其光衰減比為10-3，離子流通率只有2～5％〔第二屆全國真空學會年會文集，(1983)P150〕。美國專利4047030(1977年)曾公布過四種半圓筒電極系統的方案。有兩種是單級半圓筒電極單偏轉結構，一種是兩級半圓筒電極單偏轉結構，一種是偏軸半圓筒電極雙偏轉結構，...
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