技術編號：9562877
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種使用多傳感器光學輪廓儀來。背景技術通常，對于3D光學輪廓儀系統，高度圖精度與垂直掃描范圍和垂直掃描速度成反比關系。高精度光學輪廓儀傳感器可能具有有限的視野，例如視野可能是0.1X0.1_，而測試表面可能更大一些。因此，存在如下需要，將位于傳感器下方的測試表面從該測試表面的第一部分移動至該測試表面的后續部分，從而可以將多幅高度圖結合在一起以使得能夠得到整個測試表面的測量結果。如果針對各高度圖，操作者不得不以自動方式或者手動方式尋找測試表面位于傳...
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