技術編號：9544969
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 現階段，微機電系統MEMS微傳感器得到廣泛應用并獲得了巨大成功，人們對之期 望越來越高，希望通過微機電系統MEMS技術實現人類對各種物理世界所提供的信息進行 感知。就壓阻式壓力傳感器來說，其小尺寸、良好的輸入輸出線性關系、工藝成熟等優點，已 經被廣泛應用于汽車、移動電話及醫療器械等領域。相比較電容式的復雜集成電路，壓阻式 壓力傳感器只集成了一個簡單的惠斯通電橋來獲取信號，并且作為敏感元件的材料硅，其 加工成本要遠低于諧振式壓力傳感器所采用的昂貴石英，并且...
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