技術編號：9488717
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及MEMS掃描光柵，屬于光譜分析技術和MEMS。背景技術基于MEMS (Micro-Electro-Mechanical-System)技術的微型光譜儀具有體積小、重量輕、功耗低、探測速度快、性能穩定、可集成化、可批量化制造，以及成本相對低廉等優點，具有巨大的應用市場與開發潛力。基于MEMS技術的掃描光柵是微型近紅外光譜儀的核心元器件。當光譜儀處于工作狀態時，掃描光柵的鏡面以一定角度轉動，在鏡面的轉動過程中，不同波長的光依次以某一特定角度入射到聚焦...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。