技術(shù)編號(hào):9486664
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。真空環(huán)境為人們提供了清潔、少受外界干擾的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,當(dāng)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展無不伴隨著真空科學(xué)與技術(shù)的進(jìn)步。如今真空科學(xué)已廣泛應(yīng)用于電子、半導(dǎo)體、冶金、醫(yī)藥、航空航天等領(lǐng)域,并為微納米工程、分析測(cè)試技術(shù)、激光工程等高新技術(shù)提供了必要保障。通常真空環(huán)境的獲得是通過真空栗來實(shí)現(xiàn)的,由機(jī)械栗、擴(kuò)散栗、分子栗、離子栗、升華栗等不同種類真空栗及其組合來滿足對(duì)不同真空度的需求?,F(xiàn)有設(shè)備,通過單一機(jī)械栗,其工作室的真空度可達(dá)10 ta量級(jí);由機(jī)械栗、擴(kuò)散栗的組合,工作室真空度達(dá)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。