技術編號：9464790
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發明涉及一種單晶硅異平面空心微針結構的制作方法，屬于MEMS微納加工領 域。背景技術 傳統給藥方式是口服給藥和靜脈注射給藥，它們是很方便的給藥方式，可以滿足 大部分藥物的需求。但是，這兩種給藥方式也有各自的缺點。口服給藥由于要經過胃腸等 消化道，經過新陳代謝作用，很多藥物尤其是蛋白質類藥物的藥效降低。靜脈注射給藥不僅 需要專業人員操作，而且會給病人造成疼痛感，不適用于長期連續給藥。為了克服上述局限 性，利用MEMS技術制作的微針用于給藥領域，開拓了一種...
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