技術編號：9464785
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。術語微機電系統(MEMS)或微機械系統常常用于指代組合了電部件與機械部件的小型集成裝置或系統。當將重點放在微機械部分上時，術語“微機械系統”可以用于描述包括一個或多個微機械元件并且可能但并不一定包括電部件和/或電子部件的小型集成裝置或系統。微機械系統可以用作例如致動器、變換器或傳感器，例如壓力傳感器。壓力傳感器目前是汽車電子設備和消費品電子設備中的大批量產品。對于很多這些應用而言，使用了其中傳感器被集成在專用集成電路(ASIC)中的系統。例如，英飛凌科技股...
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