技術編號:9457793
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。 新興的熱傳感器可以與管芯的電路(例如,CMOS器件)集成。然而,在熱傳感器 的深亞微米制造中的工藝變化可能會導致這種傳感器中的重大的不準確性。為解決這個問 題,可以在組裝測試(例如,分類或測試)期間對熱傳感器進行校準。例如,可以將管芯放 置在具有溫度控制的熱卡盤上并且可以對熱傳感器進行校準以讀取熱卡盤的各種溫度。這 種校準技術可能提供不準確的熱傳感器(例如,在熱到冷范圍的中間溫度處的大約+/-3-5 攝氏度的偏差),這可能導致損失性能機會、在冷卻過程中損...
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