技術編號：9454460
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。專利說明相關申請的交叉引用本申請要求美國臨時專利申請號62/016，134根據35U.S.C 119的優先權，通過引用將其并入本文。領域本公開涉及激光退火，且特別是涉及以環境氧的局部控制進行激光退火的方法。通過引用將本文中所提及的任何公開或公告的專利文件的全部公開內容并入，包括美國專利第5，997，963號、第6，747，245號、第7，098，155號、第7，157，660號、第7，763，828 號、第 8，309，474 號與第 9，029，809 ...
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