技術編號：9445656
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 MEMS技術被譽為21世紀帶有革命性的高新技術，其發展始于20世紀60年代， MEMS是英文MicroElectroMechanicalSystem的縮寫，即微電子機械系統。微電子機械 系統（MEM巧是近年來發展起來的一種新型多學科交叉的技術，該技術將對未來人類生活 產生革命性的影響。MEMS的基礎技術主要包括娃各向異性刻蝕技術、謹娃鍵合技術、表面 微機械技術、LIGA技術等，運些技術已成為研制生產MEMS必不可少的核屯、技術。 在W娃為基礎的MEMS加...
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