技術編號：9438778
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 光刻設備是施加所需圖案至襯底上、通常至襯底的目標部分上的機器。光刻設備 可以例如用于集成電路（IC)的制造中。在該情形中，備選地稱作掩模或刻線板的圖案化裝 置可以用于產生將要形成在IC的單個層上的電路圖案。該圖案可以轉移至襯底（例如硅 晶片）上的目標部分（例如包括一個或數個裸片的一部分）上。圖案的轉移通常經由對提 供在襯底上的輻射敏感材料（抗蝕劑）的層成像而完成。通常，單個襯底將包含連續圖案 化的相鄰目標部分的網絡。已知的光刻設備包括所謂的步進機，其中通...
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