技術編號：9422363
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 隨著半導體技術的進步，縮小器件尺寸變成越來越復雜的任務。補充計量工具，允 許測量能力的類似改進，對于這種發展的連續進程至關重要。 光學計量能夠獲取關于對具有小尺寸的圖案特征（臨界尺寸）的圖案化結構進行 表征的幾何和材料性質的高度精準的信息。幾個物理量通常由光學計量來測量并且尤其由 光學臨界尺寸（OCD)技術來測量。例如，光學反射測量法在單個（或一小組）入射方向和 不同的偏振之上測量寬光譜的反射強度。此外，橢圓測量法允許訪問關于在不同的偏振狀 態之間的相對...
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