技術編號：9389916
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 在化學沉積法生產多晶硅的多晶硅硅棒調壓電源系統中，如果多晶硅硅棒有并聯 調壓的需要時，現有的解決方案是采用平衡的并聯支路方式連接負載，使每一個平衡的并 聯支路的調壓，例如，申請號為=200910058454. 3的發明專利《一種多晶硅還原電源硅棒并 串聯的控制回路》和申請號為=201120238067. 0的實用新型專利《一種變化負載的串并聯 供電電路》，涉及到阻值動態變化的負載并聯調壓供電電路的解決方案都是對負載進行平 衡并聯調壓的描述和保護。 在多晶...
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