技術編號:9370077
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。本發明涉及一種栗體,特別是涉及一種冷凝栗。背景技術冷凝栗是利用低溫表面冷凝氣體的真空栗,又稱冷凝栗。冷凝栗是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空栗,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產,以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優勢,被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業生產等眾多領域,如半導體材料制作、平板顯示器生產/測試設備、太陽能制造業、真空鍍膜、熱真空系...
注意:該技術已申請專利,請尊重研發人員的辛勤研發付出,在未取得專利權人授權前,僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權,增加技術思路,做技術知識儲備,不適合論文引用。