技術編號:9368395
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。現有技術中的藍寶石晶體生長爐,如圖1所示,一般采用鳥籠式的加熱器。但是目前這些加熱器都存在一個問題制造困難價格昂貴,加熱棒直徑大于5_,加熱器底部熱場不均勻。另外由于結構只有單方向開口,在加熱生長的晶體重量大的情況下,不易取出,容易碰撞損壞加熱器,加熱器與制備藍寶石的坩禍間需要更大的移動空間。同時,業內也有采用石墨做加熱棒的藍寶石爐加熱器,然而受限于石墨本身物理性質,韌性不足,無法縮小直徑,往往加熱棒直徑太大,導致諸如熱轉化率不高浪費能源、無法精確控制熱場...
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