技術編號:9218615
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。電容器是集成電路中的重要組成單元,廣泛運用于各種芯片。隨著半導體集成電路制造技術的不斷進步,半導體器件的性能也不斷提升。集成電路集成度提升過程中如何控制電容器的電容以精準地控制模擬電路成為一個重要的課題。在芯片生產過程中,MOM(metal-oxide-metal)電容器的電容值的變化被限定在10%以內。但這仍不夠優化某一需要更精確控制的MOM電容器的電容值的模擬電路設計。現有技術中沒有一種低成本的在芯片級精細調整MOM電容器的電容值的方法。電容值調整使用...
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