技術編號：9216358
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。直寫光刻機設備是通過特定波長的激光與涂有光刻膠的基底或壓上干膜的PCB板直接發生反應并曝光出圖形，他比傳統曝光機省掉了光罩或菲林等工序，其一方面可以提高細導線的制造精度和合格率，使多層對位更加精確；另一方面縮短了生產流程，加快周轉速度，降低成本。直寫光刻設備需要使用精密位移平臺來完成精準對位與同步位置掃描，平臺的位置同步直接影響了 LDI設備曝光圖形的準確性及對位精度。目前，直寫曝光設備的位置同步信號一般使用平臺驅動器處理后的同步位置輸出信號，其受到平臺驅...
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