技術編號:9199321
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術詳細信息。氧化釩作為一種金屬氧化物半導體材料,由其制備形成的薄膜由于具有不同的價態及結構,引起了研宄者的廣泛興趣。研宄發現,氧化釩薄膜在氧化還原反應中可作為催化劑,尤其是對碳氫化合物、硫氧化物、氮氧化物具有很大的催化作用,因此,可將氧化釩薄膜做成氣敏傳感器元件,對一定的氣體,如乙醇、二氧化氮、甲烷等,進行探測。作為氣敏傳感器而言,靈敏度、響應/恢復時間和工作溫度是評判一個氣敏元件的三個重要因素。高靈敏度說明氣敏元件對于所測氣體的敏感度高;快的響應/恢復時間代表了氣敏...
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