技術編號：9196327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。目前硅單晶通常采用直拉單晶制造法即CZ法進行生產，CZ法生產的具體工藝過程包括裝料與熔料、熔接、細頸、放肩、轉肩、等徑生長和收尾幾個階段。裝料與熔料階段是CZ法的第一個階段，這一階段的操作往往關系到生長過程的成敗，直接影響單晶的生產。CZ法在裝料與熔料階段，通常要加入一定數量的雜質元素，這個步驟稱為摻雜。CZ法工藝中，單晶硅的電阻率是決定單晶品質的一項重要因素，而單晶硅電阻率是通過摻加硼族元素來調整的，硼族元素摻加量過多會造成單晶娃的電阻率偏低；硼族元素摻...
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