技術編號：9174020
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。近年來，微型化設備在生物、醫療、化學等科研領域以及人類的生活中得到了越來越廣泛的應用，人們對微型化設備的需求也越發強烈，層次不窮的微型化設備也正不斷地在改善人們的生活水平、推動科學技術的發展。隨著設備尺度的微型化，使得人們對微細加工技術也提出了更高的要求。比如在分析化學、生化檢測領域，常需要在微流控芯片表面上刻畫微米甚至納米級的微流道或微細圖案；在國防工業及航空航天領域，常需要在單晶石英材料上刻畫特定溝槽以安裝微納傳感器；在金屬材料領域，常需要利用微加工的...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發人員的辛勤研發付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業用途。
該專利適合技術人員進行技術研發參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。