技術編號：9087686
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。曝光機是集電子光學、電氣、機械、真空、計算機技術等于一體的復雜的半導體加工設備，70年代以后廣泛應用于半導體集成電路制造業，是在計算機的控制下，利用聚焦電子束對有機聚合物(通常稱為電子抗蝕劑或光刻膠)進行曝光，它常用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制領域。在電路板加工過程中，需要對電路板進行曝光，而目前最常用的曝光方式就是采用曝光機曝光，但是現有的曝光機結構較為復雜、曝光效率不高和曝光質量不高，而...
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