技術編號：9075132
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。在單晶硅的生產過程中，單晶拉制完成之后，石英坩禍里面會剩余少量的硅材料，稱為禍底料，拉晶產生的禍底料與石英禍粘在一起很難處理。目前常用的處理方法為，先用錘子將禍底料和石英敲擊分離開，但是仍然有少量石英粘在禍底料上無法去除，然后將帶石英的禍底料放入盛滿氫氟酸的容器中，石英與氫氟酸發生反應將石英腐蝕掉，得到純凈的禍底料。當時所用工藝為將禍底料置于盛滿氫氟酸的容器中，由于容器中的酸為靜止狀態，存在反應不充分，處理效率低等缺點。有鑒于此，需要發明一種處理時間短，工...
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