技術編號：9064905
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本實用新型涉及研磨/拋光領域，尤其是超精密研磨加工領域。背景技術超精密研磨拋光是超精密加工領域的一種主要加工方法，近年來發展起來的超精密研磨拋光是一種可以實現先進材料工件高精度、高質量加工的方法。一般的研磨拋光方法采用的加工方式是在表面平整均勻的研磨盤上鋪設固著磨粒，加工工件安裝于研磨盤上方的工件安裝頭上，研磨時，在工件安裝頭上施加壓力，研磨盤轉動，使工件與固著磨粒間有相對運動進行磨削從而完成研磨加工。另一方面，一般所用的研磨盤表面附著著大量的磨粒，并由...
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