技術編號：9013580
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。平整度測試裝置，采用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、S1、玻璃等材質的表面特征，在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等，可在線和離線測量?，F(xiàn)有的裝置的測量寬度有限，不能對較寬的材料進行測量。實用新型內容本實用新型的目的是提供一種一體化板板面平整度檢測裝置，能夠解決上述問題。本實用新型為實現(xiàn)上述目的，通過以下技術方案實現(xiàn)一體化板板面平整度檢測裝置，包括底座，底座上部兩側分別安裝一個輥軸輸送裝置，底座的上側中部安裝步進電機和固定支架...
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