技術(shù)編號：8997461

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壓阻式差壓傳感器又稱擴散硅差壓傳感器，其工作原理是利用了單晶硅壓阻效應(yīng)，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，形成電橋，單晶硅片為彈性敏感部件并設(shè)置在正壓腔體內(nèi)，當正壓端和負壓端的外壓通過隔離膜片推動傳感器內(nèi)部的填充液，填充液將外壓傳遞至單晶硅片上后，應(yīng)變電阻發(fā)生變化，電橋會根據(jù)變化后的電阻電路獲得相應(yīng)的電壓輸出，變送器可以通過輸出電壓確定傳感器感知的產(chǎn)生差壓測量信號，通過流體的差壓一般可以進一步獲知流體的流量。壓阻式差壓傳感器的正壓腔體和負壓腔體兩端面上均...
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